[发明专利]基于高数值孔径柱透镜聚焦产生均匀线激光束的装置

权利要求书

1.一种基于高数值孔径柱透镜聚焦产生均匀线激光束的装置，其特征在于，由线偏振激光光源（1）、球透镜组（2）、矩形光阑（3）、二分之一波片（4）、非连续波片（5）和高数值孔径柱透镜（6）组成；

线偏振激光光源（1）产生的光束，经球透镜组（2）扩束准直后，由矩形光阑（3）选取光斑中心部分几乎均匀的矩形线偏振光通过；从矩形光阑（3）射出的矩形线偏振光经二分之一波片（4），接着经过或不经过非连续波片（5）后，由高数值孔径柱透镜（6）聚焦在焦面（7）处产生均匀线激光束。

2.如权利要求1所述的基于高数值孔径柱透镜聚焦产生均匀线激光束的装置，其特征在于，所述的线偏振激光光源（1）是气体激光光源、半导体激光光源、全固态激光光源或光纤激光光源。

3.如权利要求1所述的基于高数值孔径柱透镜聚焦产生均匀线激光束的装置，其特征在于，所述的球透镜组（2）由小焦距球透镜和长焦距球透镜组成。

4.如权利要求1所述的基于高数值孔径柱透镜聚焦产生均匀线激光束的装置，其特征在于，所述的二分之一波片（4）用于调节矩形线偏振光的偏振方向。

5.如权利要求1所述的基于高数值孔径柱透镜聚焦产生均匀线激光束的装置，其特征在于，所述的非连续波片（5）两半之间存在特定高度差，以使得光束两半之间产生π的相对相位差，从而将矩形线偏振光转换成矩形TEM01线偏振光；且非连续波片（5）两半之间的分界线与x轴平行。

6.如权利要求1或5所述的基于高数值孔径柱透镜聚焦产生均匀线激光束的装置，其特征在于，所述的非连续波片（5）可选择使用或不使用。

7.如权利要求5所述的基于高数值孔径柱透镜聚焦产生均匀线激光束的装置，其特征在于，所述的矩形TEM01线偏振光经消球差高数值孔径柱透镜（6）聚焦在焦面（7）处；且高数值孔径柱透镜（6）的母线与x轴平行。