[发明专利]用于集成电路的RF扼流器

说明书

技术领域

本发明总的来说涉及集成电路，更具体地，涉及用于集成电路的RF扼流器。

背景技术

诸如移动通信设备的许多电子设备工作在不同的射频（RF）下。这种电子设备可将DC电源用作工作电源。可在电子设备内使用RF扼流器以提供存在于电子设备内的DC电源和RF信号之间的选择性电隔离。在一个实例中，RF扼流器允许与DC电源相关联的电流流过，而阻止与特定频率带宽相关联的电流流过。因为许多电子设备包括相对较小的电路，所以RF扼流器会占用相对大的表面积，诸如2.5平方毫米的面积。如果要阻止大范围的频率，则使用多个RF扼流器，诸如用于10GHz信号的第一RF扼流器、用于20GHz信号的第二RF扼流器以及用于60GHz信号的第三RF扼流器，这比单个RF扼流器占用更大的表面积。

发明内容

提供本发明的总述从而以简化的形式介绍在下文中以详细的描述进一步描述的一些概念。该总述并没有限定所要求主题的关键因素或必要特征，也不用于限制所要求主题的范围。

本发明提供了一种或多种RF扼流器以及用于形成这种RF扼流器的技术。在一些实施例中，提供了用于选择性过滤诸如集成电路内的RF信号的RF频率带宽的RF扼流器。RF扼流器包括被配置为RF扼流器的电感元件的诸如钝化后互连（PPI）连线的金属连线。在一个实例中，金属连线对应于形成在钝化层上方的一个或多个介电层（诸如氧化硅、氮化硅、PBO、BCB或其他介电材料的复合层）内的再分布层或互连金属层中的至少一个。金属连线在金属连线的第一位置处连接至DC电源。DC电源提供了沿金属连线传输至通过DC电源供电的电路的DC电源信号。金属连线在金属连线的第二位置处连接至诸如PPI RF线的金属RF线。金属RF线将RF信号从RF输入端口传送至RF输出端口。RF扼流器包括被配置为RF扼流器的电容元件的诸如PPI开路枝节的金属开路枝节。金属开路枝节在第一位置和第二位置之间的金属连线的第三位置处连接至金属连线。对电感元件和电容元件进行配置，使得来自DC电源的DC电源信号可通过金属连线，而RF频率带宽内的RF信号被阻止通过金属连线。例如，电感元件允许电流流至由DC电源供电的电路，而电容元件阻止RF信号。

在一些实施例中，提供了用于选择性过滤集成电路内的诸如RF信号的RF频率带宽的3D RF扼流器。3D RF扼流器包括被配置为电感元件的诸如PPI连线的金属连线。金属连线在金属连线的第一位置处连接至DC电源。沿金属连线将DC电源所提供的DC电源信号传送至通过DC电源供电的电路。金属连线在金属连线的第二位置处连接至诸如PPI RF线的金属RF线。金属RF线将RF信号从RF输入端口传送至RF输出端口。3D RF扼流器包括被配置为电容元件的一个或多个通孔。在一个实例中，3D RF扼流器包括第一通孔，其包括信号通孔部分和接地通孔部分。接地通孔部分连接至接地点。在一个实例中，RF频率带宽内的RF信号通过接地通孔部分接地。信号通孔部分在金属连线的第三位置处连接至金属连线。这样，对电感元件以及一个或多个电容元件进行配置，使得来自DC电源的DC电源信号可通过金属连线，而RF频率带宽内的RF信号被阻止通过金属连线。

根据本发明的一个方面，提供了一种用于选择性地过滤RF频率带宽的系统，包括：RF扼流器，被配置为选择性地过滤RF频率带宽。RF扼流器包括：金属连线，被配置为电感元件，金属连线在金属连线的第一位置处连接至DC电源，金属连线在金属连线的第二位置处连接至金属RF线，金属RF线将RF输入端口连接至RF输出端口；以及金属开路枝节，被配置为电容元件，金属开路枝节在第一位置和第二位置之间的金属连线的第三位置处连接至金属连线。

优选地，金属连线包括第一金属连线部分和第二金属连线部分，第一金属连线部分在第三位置处连接至第二金属连线部分且在第二位置处连接至金属RF线。

优选地，金属连线包括在金属连线的第四位置处连接至第二金属连线部分的第三金属连线部分，并且RF扼流器包括：第二金属开路枝节，被配置为第二电容元件，第二金属开路枝节在第四位置处连接至金属连线。

优选地，RF扼流器被配置为：基于电容元件、电感元件、金属连线的阻抗和金属开路枝节的阻抗中的至少一个来选择性地过滤RF频率带宽。

优选地，金属连线和金属开路枝节中的至少一个的尺寸在约六分之一的波长和约十二分之一的波长之间，波长与用于生成包括RF扼流器的集成电路的光刻工艺相关联。

优选地，RF扼流器被配置为选择性地过滤第二RF频率带宽。

优选地，该系统包括：集成电路的衬底层，RF扼流器形成在其中。