[发明专利]一种激光陀螺反射镜性能在线测试装置

权利要求书

1.一种激光陀螺反射镜性能在线测试装置，其特征在于：在线测试装置由正方体结构的微晶玻璃材料通过机械加工、光学加工和化学抛光而获得，主体是一个十面体结构的直棱柱腔体，直棱柱的底面是每个内角都是135°的八边形，八边形分别由长度为L1和L2的线段依次间隔收尾相连形成；L1=31mm，L2=46mm，直棱柱的高度为40～60mm；中间开有直径为50mm的中央通孔；

依次在直棱柱的六个侧面上设置球面输出镜，阳极1，腔平移镜，阴极，平面输出镜，阳极2，球面全反射镜和空白面；

其中，球面输出镜、腔平移镜、平面输出镜、球面全反射镜构成环形谐振腔体，其所在的四个侧面在直棱柱底面上投影的长度为L1；提供放电条件的阳极1、阴极、阳极2，和空白面所在的四个侧面在直棱柱底面上投影的长度为L2；

球面输出镜、平面输出镜上镀有波长为632.8nm、工作角度为45°、直径为25mm的高反输出膜，镀膜区为镜子的中心处直径为8mm的区域；

腔平移镜、球面全反镜上镀有波长为632.8nm、工作角度为45°、直径为25mm的高反膜，镀膜区为镜子的中心处直径为8mm的区域；

在腔体的平面输出镜和球面输出镜的两侧设置四个光窗：

在中央通孔与球面输出镜之间，开两个直径为30mm的圆柱形光窗，每个光窗的轴线与球面输出镜所在平面的夹角为45°，两个光窗的轴线之间夹角为90°；设定靠近球面输出镜一侧的光窗所在的圆柱体的端面为贴镜面，贴镜面的圆心与球面输出镜的圆心之间的距离为15mm；在贴镜面上设置一面镀波长为632.8nm、工作角度为0°的减反膜的镜片，作为光窗片；

在中央通孔与平面输出镜之间，开两个直径为30mm的圆柱形光窗，每个光窗的轴线与平面输出镜所在平面的夹角为45°，两个光窗的轴线之间夹角为90°；设定靠近平面输出镜一侧的光窗所在的圆柱体的端面为贴镜面，贴镜面的圆心与平面输出镜的圆心之间的距离为15mm；在贴镜面上设置一面波长为632.8nm、工作角度为45°的减反膜的镜片，作为光窗片；

激光陀螺反射镜性能在线测试装置通过专用电源给阳极1、阳极2和阴极提供电能，电源开关打开后，激光陀螺反射镜性能在线测试装置开始工作，直棱柱腔体内的阳极1-阴极-阳极2区域为放电区域，在球面输出镜和平面输出镜产生波长为632.8nm的He-Ne激光输出；球面输出镜和平面输出镜即为要测试的激光陀螺反射镜；

当激光陀螺反射镜性能在线测试装置正常运行后，对球面输出镜一侧的激光陀螺反射镜性能进行在线测量，当一束光垂直入射到一块光窗片后以45°角度入射到球面输出镜，通过球面输出镜反射后再垂直入射通过同侧的另一块光窗，反射输出的光带有球面输出镜的反射信息，从而实时监测球面输出镜性能变化情况；

对平面输出镜一侧的激光陀螺反射镜性能进行在线测量，当一束光垂直入射到一块光窗片后以45°角度入射到平面输出镜，通过平面输出镜反射后再垂直入射通过同侧的另一块光窗，反射输出的光带有平面输出镜的反射信息，从而实时监测平面输出镜性能变化情况。

2.如权利要求1所述的一种激光陀螺反射镜性能在线测试装置，其特征在于：放置球面输出镜、平面输出镜，球面全反射镜、腔平移镜、光窗的部位均采用光学加工，光洁度为III级。

3.如权利要求1所述的一种激光陀螺反射镜性能在线测试装置，其特征在于：球面输出镜、腔平移镜、平面输出镜、球面全反射镜采用离子束溅射沉积技术镀膜。

4.如权利要求1所述的一种激光陀螺反射镜性能在线测试装置，其特征在于：球面输出镜、腔平移镜、平面输出镜、球面全反射镜采用光胶的方法与激光陀螺腔体粘接在一起。

5.如权利要求1所述的一种激光陀螺反射镜性能在线测试装置，其特征在于：球面输出镜、平面输出镜上的高反输出膜反射率大于99.982%，透过率为70～140ppm。

6.如权利要求1所述的一种激光陀螺反射镜性能在线测试装置，其特征在于：腔平移镜和球面全反镜上的高反膜的反射率大于99.992%。

7.如权利要求1所述的一种激光陀螺反射镜性能在线测试装置，其特征在于：在四个光窗的贴镜面上设置的镜片上镀的减反膜透过率大于99.99%。

8.如权利要求1所述的一种激光陀螺反射镜性能在线测试装置，其特征在于：激光陀螺反射镜性能在线测试装置提供的电能电压为1000～2000V，电流为0.6～1.0mA。