[发明专利]掺硼氧化锌薄膜的制备方法

权利要求书

1.掺硼氧化锌薄膜的制备方法，包括以下步骤：

向锌源的有机溶液中加入稳定剂，升温至25-80℃后加入硼源，然后陈化处理，得到凝胶；或

将锌源、稳定剂和硼源溶于有机溶剂中，配制混合物溶液，将所述混合物溶液蒸发回流，得到凝胶；其中，所述凝胶中硼原子与锌原子的摩尔比为0.2～1.0：100；

对所述凝胶进行涂膜与干燥处理，得到前驱体薄膜；

对所述前驱体薄膜进行热处理，冷却，得到掺硼氧化锌薄膜。

2.如权利要求1所述的掺硼氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，所述锌源为二水合醋酸锌或无水醋酸锌。

3.如权利要求1或2所述的掺硼氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，所述有机溶剂选自乙醇、甲醇、异丙醇和乙二醇甲醚中的一种。

4.如权利要求1或2所述的掺硼氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，所述硼源选自硼酸、硼酸三甲酯、三甲基硼和硼烷中的一种。

5.如权利要求1或2所述的掺硼氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，所述稳定剂为单乙醇胺。

6.如权利要求1所述的掺硼氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，硼原子与锌原子的摩尔比为0.6～0.8：100。

7.如权利要求1所述的掺硼氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，所述涂膜与干燥处理包括以下步骤：

采用浸渍提拉法涂膜，提拉速度为1-8cm/min；

将湿膜在100-120℃干燥10-15min，再将薄膜在240-260℃预热处理10-15min；

重复上述操作，得到所述前驱体薄膜。

8.如权利要求1所述的掺硼氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，对所述前驱体薄膜进行热处理是将所述前驱体薄膜置于400-600℃处理1-3h，热处理气氛为空气。