[发明专利]异质结太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种异质结太阳能电池，包括TCO（50），以及形成在所述TCO（50）上的栅极（60），其特征在于，所述栅极（60）部分延伸进入所述TCO（50）中。

2.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池，其特征在于，所述栅极（60）具有一端宽一端窄的结构，所述栅极（60）的宽端延伸进入所述TCO（50）中。

3.根据权利要求2所述的异质结太阳能电池，其特征在于，所述栅极（60）呈梯形结构。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的异质结太阳能电池，其特征在于，所述栅极（60）中延伸进入所述TCO（50）中的第一部分与位于所述TCO（50）外部的第二部分的高度比为1/1000～1/100。

5.根据权利要求4所述的异质结太阳能电池，其特征在于，所述栅极（60）中所述第一部分的高度与所述TCO（50）的厚度之间的比值为0.1～0.9。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的异质结太阳能电池，其特征在于，所述异质结太阳能电池包括衬底（10），所述TCO（50）设置在所述衬底（10）的正面和/或背面，所述栅极位于所述TCO（50）远离所述衬底（10）的一侧。

7.一种异质结太阳能电池的制备方法，包括：

提供衬底（10）；

在所述衬底上方形成TCO（50）；以及

在所述TCO（50）上形成栅极（60），

其特征在于，在所述TCO（50）上形成栅极（60）的步骤中，所述栅极（60）部分延伸进入所述TCO（50）中。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，在所述TCO（50）上形成栅极（60）的步骤包括：

在所述TCO（50）上刻蚀形成凹槽；

在所述凹槽中形成所述栅极（60），以使所述栅极（60）部分延伸进入所述TCO（50）中。

9.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述TCO（50）包括第一TCO（51）和第二TCO（52），在所述衬底上方形成TCO（50），以及在所述TCO（50）上形成的栅极（60）的步骤包括：

在所述衬底上形成所述第一TCO（51）；

在所述第一TCO（51）上形成所述栅极（60）；以

在所述第一TCO（51）上，围绕所述栅极（60）形成所述第二TCO（52），以使所述栅极（60）部分延伸进入所述TCO（50）中。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的制备方法，其特征在于，所述TCO（50）形成在所述衬底的正面和/或背面上方，所述栅极形成在所述TCO（50）远离所述衬底（10）的一侧上，并朝向所述衬底的方向部分延伸进入所述TCO（50）中。