[发明专利]一种基于荧光涂层积分球的紫外探测器制备方法

权利要求书

1.一种基于荧光涂层积分球的紫外探测器制备方法，其特征在于，具体包括如下步骤：

1）积分球体为两个半球，将积分球体内表面抛光，并在在两个积分半球的圆边上各开相同半径的半圆孔；

2）通过真空或旋涂镀膜方法在积分球内壁均匀镀一层荧光薄膜；

3）将加工后的两个半球封装为一完整球体，两个半球的半圆孔正对成一个圆孔，作为入射孔；

4）两半球结合面作为水平面，在积分球的底部开槽并嵌入硅基探测器件作为紫外光信号的接收器，接收器接收面与积分球内壁一致；

5）入射的信号光通过入射孔进入积分球后，在内部多次反射后被硅基探测器件接收。

2.根据权利要求1所述基于荧光涂层积分球的紫外探测器制备方法，其特征在于，所述荧光薄膜所用荧光材料为具有紫外激发发射特性的有机或无机材料。

3.根据权利要求1所述基于荧光涂层积分球的紫外探测器制备方法，其特征在于，所述积分球体采用金属或塑料材料。