[发明专利]夹持装置及工件输送机械手在审

专利信息
申请号: 201310228855.5 申请日: 2013-06-08
公开(公告)号: CN103779260A 公开(公告)日: 2014-05-07
发明(设计)人: 占部雄士;三重野靖理 申请(专利权)人: 昕芙旎雅有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;张会华
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 夹持 装置 工件 输送 机械手
【权利要求书】:

1.一种夹持装置,其能够在工件保持台上保持工件及解除该保持状态,其特征在于,

在上述工件保持台上包括:顶端侧固定块,其设于该工件保持台的顶端侧;基端侧固定块,其以隔着工件的方式设于与上述顶端侧固定块相对的基端侧;以及可动块,其配置于靠近该基端侧固定块的位置处,且被设为能够隔着工件相对于上述顶端侧固定块侧进退;

上述各固定块形成有朝向工件的中心方向并向下方倾斜的向上固定倾斜面,

上述可动块形成有朝向工件的中心方向并向上方倾斜的向下可动倾斜面,

当在工件保持台上对工件进行保持时,在使工件以横跨上述各固定块的向上固定倾斜面的方式载置于上述各固定块的向上固定倾斜面的状态下,以向下可动倾斜面与工件的侧面相抵接的方式使上述可动块进出,

当在工件保持台上解除工件的保持状态时,使上述可动块向与工件相反的方向退避。

2.根据权利要求1所述的夹持装置,其特征在于,

使上述可动块的中心在预定的动作直线上移动,

在俯视时隔着上述动作直线相互对称的位置处配置有一对上述顶端侧固定块。

3.根据权利要求2所述的夹持装置,其特征在于,

在俯视时隔着上述动作直线相互对称的位置处配置有一对上述基端侧固定块。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的夹持装置,其特征在于,

上述顶端侧固定块具有突出部,该突出部连接于向上固定倾斜面的上端并沿铅垂方向朝上方延伸。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的夹持装置,其特征在于,

上述工件形成为以上述侧面为外周面的圆板状。

6.一种工件输送机械手,其特征在于,

该工件输送机械手在手部具有权利要求1~5中任一项所述的夹持装置。

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