[发明专利]一种双区域比例输出共焦探测方法与装置

权利要求书

1.一种双区域比例输出共焦探测方法，其特征为：将收集物镜(107)焦平面光斑以光斑中心为圆心分为同心的两个区域，内圆区域记为A，半径记为R₁，外圆环带区域记为B，外圆半径记为R₂，共焦测量系统在进行扫描时，采用区域A与B光强的比例值作为双区域比例输出共焦探测器(108)的输出。

2.一种双区域比例输出共焦探测装置，包括激光器(101)，扩束准直系统(102)，分光棱镜(103)、1／4玻片(104)，探测物镜(105)，待测件样品(106)，收集物镜(107)，其特征为：还包括设置在收集物镜(107)准焦面上的双区域比例输出共焦探测器(108)；激光器(101)发出的光束，经过扩束准直系统(102)扩束准直后，平行穿过分光棱镜(103)和1／4玻片(104)，并由探测物镜(105)会聚到待测件样品(106)；从待测件样品(106)反射的光束，再次经过探测物镜(105)和1／4玻片(104)，由分光棱镜(103)反射，经收集物镜(107)会聚到双区域比例输出共焦探测器(108)。

3.根据权利要求2所述的双区域比例输出共焦测量装置，其特征为：所述的双区域比例输出共焦探测器(108)包括设置在装置外壳(208)中的第一光敏面(201)和第二光敏面(202)，设置在装置外壳(208)外的连接第一光敏面(201)的第一光电转换电路模块(203)，连接第二光敏面(202)的第二光电转换电路模块(204)，连接第一光电转换电路模块(203)和第二光电转换电路模块(204)的硬件除法器模块(205)，模数转换模块(206)，数字输出接口(207)；所述的第一光敏面(201)为圆形，圆心开针孔，第二光敏面(202)为圆形，位于第一光敏面(201)之后并与第一光敏面(201)同心放置；第一光敏面(201)经过第一光电转换电路模块(203)光电转换后，输出模拟电压V₁，第二光敏面(202)经过第二光电转换电路模块(204)光电转换后，输出模拟电压V₂，V₁与V₂进入硬件除法电路模块(204)输入端，V₁为除数端，V₂为被除数端，输出的模拟电压V₃=V₂／V₁，再经过模数转换模块(206)完成模数转换后，由数字输出接口(207)输出。

4.根据权利要求2所述的双区域比例输出共焦测量装置，其特征为：所述的双区域比例输出共焦探测器(108)为CCD相机(401)。