[发明专利]对称移焦式轴向高分辨共焦显微成像装置

权利要求书

1.对称移焦式轴向高分辨共焦显微成像装置，其特征在于:包括照明光路和探测光路，

所述的照明光路沿光束传播方向依次设置激光器(1)、准直镜组(2)、偏振分光镜(3)、1/4λ波片(4)、聚焦显微物镜(5)和样品(6);激光器(1)发出的光束经准直镜组(2)准直后，平行穿过偏振分光镜(3)和1/4λ波片(4)，由聚焦显微物镜(5)会聚到被测物体(6)上;

所述的探测光路包括1:1普通分光镜(10)，第一路位相滤波器(15)，第一路收集透镜(7)，第一路针孔(8)，第一路光强转换器(9)，第二路位相滤波器(14)，第二路收集透镜(11)，第二路针孔(12)，第二路光强转换器(13);从被测物体(6)反射的光束，先后经过聚焦显微物镜(5)和1/4λ波片(4)，并由偏振分光镜(3)反射到1:1普通分光镜(10)，被1:1普通分光镜(10)反射的光束依次经过第一路位相滤波器(15)，第一路收集透镜(7)和第一路针孔(8)由第一路光强转换器(9)接收;所述的第一路针孔(8)位于第一移焦面，第一移焦面处于未加第一路位相滤波器(15)时的焦面后方位置;经1:1普通分光镜(10)透射的光束依次经过第二路位相滤波器(14)，第二路收集透镜(11)和第二路针孔(12)由第二路光强转换器(13)接收;所述的第二路针孔(12)位于第二移焦面，第二移焦面处于未加第二路位相滤波器(14)时的焦面前方位置。

2.根据权利要求1所述的对称移焦式轴向高分辨共焦显微成像装置，其特征在于:所述的第一路位相滤波器(15)与第二路位相滤波器(14)共轭;所述的第一移焦面与第二移焦面关于未加第一路位相滤波器(15)与第二路位相滤波器(14)时，第一路收集透镜(7)与第二路收集透镜(11)的焦面对称。

3.根据权利要求1所述的对称移焦式轴向高分辨共焦显微成像装置，其特征在于:第一路针孔(8)位于未加第一路位相滤波器(15)时，第一路收集透镜(7)的焦面位置;第二路针孔(12)位于未加第二路位相滤波器(14)时，第二路收集透镜(11)的焦面位置。

4.根据权利要求1所述的对称移焦式轴向高分辨共焦显微成像装置，其特征在于:第一路位相滤波器(15)为圆对称，二环或多环结构;第二路位相滤波器(14)为圆对称，二环或多环结构。

5.根据权利要求1所述的对称移焦式轴向高分辨共焦显微成像装置，其特征在于:所述的第一路收集透镜(7)与第二路收集透镜(11)相同，第一路针孔(8)与第二路针孔(12)相同，第一路光强转换器(9)与第二路光强转换器(13)相同。