[发明专利]气液混合装置以及清洗设备

说明书

技术领域

本发明涉及显示装置制备工艺技术领域，具体涉及一种清洗设备的气液混合装置以及包括该气液混合装置的清洗设备。

背景技术

薄膜晶体管液晶显示器（Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，TFT-LCD）由于具有画面稳定、图像逼真、消除辐射、节省空间以及节省能耗等优点，被广泛应用于电视、手机、显示器等电子产品中，已占据了平面显示领域的主导地位。相比于液晶显示面板，OLED（Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管）显示面板由于具有反应速度更快、对比度更高、视角更广等特点，也日益得到了显示技术开发商的广泛关注。

在LCD显示面板和OLED显示面板制备工艺过程中，基板上如果存在异物或者脏污，则会造成很多产品不良，因此，清洗设备被广泛应用在制备工艺的各个环节中。现有技术中，主要使用的湿洗方法通常为常温水洗。常温水洗中一种常用的方法为纯水洗方法，纯水洗主要是利用高压水流的冲击力，实施硬性冲洗，该清洗方式对于无机物异物或较大的有机物异物去除十分有效。

但是随着显示技术的不断发展，为了更进一步的提升显示装置的质量以及产品的良率，在LCD显示面板和OLED显示面板制备工艺过程中，对清洗能力的要求日益提高，尤其对于细小高分子异物的去除以及精细清洗要求较为突出。现有技术中的清洗设备已经不能有效的应对上述要求；而热清洗技术的出现毫无疑问的成了解决此问题的首选方案，但是到目前为止，针对LCD显示面板和OLED显示面板制备工艺过程中基板的清洗，尚无成形的热清洗设备。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本发明的目的在于提供一种既可以实现高温气体的快速输入，又可以保证控制的精准性的清洗设备的气液混合装置，为清洗设备清洁能力的提升提供技术支持；

进一步的，本发明还提供了一种应用上述气液混合装置的清洗设备，利用高温液体和高温气体混合形成混合流体对基板表面进行热清洗的清洗设备，用于提高清洗基板的效率以及提升对基板清洗的效果。

（二）技术方案

本发明技术方案如下：

一种清洗设备的气液混合装置，包括混合腔室以及分别连通至所述混合腔室的高温气体通道以及高温液体通道，所述高温气体通道包括至少两个输出流量不同的高温气体通道。

优选的，所述高温气体通道包括第一高温气体通道以及第二高温气体通道，所述第一高温气体通道的输出端设置有毫米级气体出口，所述第二高温气体通道的输出端设置有微米级气体出口。

优选的，所述高温气体通道上设置有用于关断以及打开所述高温气体通道的控制阀门。

优选的，还包括与所述混合腔室连通的助力热气通道，通过所述助力热气通道向混合腔室中通入助力热气。

优选的，所述气液混合装置包括温度补偿机构。

优选的，所述温度补偿机构包括设置于所述高温液体通道上的主加热单元以及设置于所述混合腔室内的补偿加热单元；所述主加热单元用于将高温液体的温度提升至预设温度，所述补偿加热单元用于保持所述混合流体的温度在特定范围内。

优选的，所述主加热单元设置在所述高温液体通道外壁上；所述高温气体通道与所述高温液体通道平行且设置在所述高温液体通道内部。

优选的，所述主加热单元与第一温度传感器连接，所述补偿加热单元与第二温度传感器连接，所述主加热单元、第一温度传感器、补偿加热单元以及第二温度传感器均连接至控制器；所述控制器根据所述第一温度传感器采集的温度信息调整主加热单元的功率，根据所述第二温度传感器采集的温度信息调整补偿加热单元的功率。

本发明还提供了一种包括上述任意一种气液混合装置的清洗设备：

一种清洗设备包括上述任意一种气液混合装置以及混合流体喷射装置，高温液体以及高温气体在所述气液混合装置混合形成混合流体，所述混合流体经由所述混合流体喷射装置喷射至清洗目标的表面。

优选的，所述气液混合装置集成在所述混合流体喷射装置内。

优选的，所述清洗目标相对于所述混合流体喷射装置运动；所述混合流体喷射装置包括多组喷嘴，至少一组喷嘴的喷射方向与清洗目标的运动方向成锐角，至少一组喷嘴的喷射方向与清洗目标的运动方向成钝角。

优选的，所述混合流体喷射装置包括多排喷嘴，每排喷嘴为一组，至少两组喷嘴的喷射方向与清洗目标的运动方向所成角度互补。