[发明专利]一种用于金属有机化学气相沉积反应器的管道冷却式气体分布装置

权利要求书

1.一种用于金属有机化学气相沉积反应器的管道冷却式气体分布装置，包括位于反应腔室（103）上方的气体喷射板（210），该气体喷射板（210）上方设有气体连接板（216），在所述气体喷射板（210）与气体连接板（216）之间设有至少三个层叠的气体分布板（212、214、215）；其特征在于，在所述气体喷射板（210）与最下层的气体分布板（212）之间、相邻两层气体分布板之间均设置有冷却液管道（211、213、217、218）；所述气体连接板（216）上设置有若干气体接口（202、203、206）、测量仪安装窗口（205）以及与所述冷却液管道（211、213、217、218）连通的冷却液进出口（201、207），且所述气体喷射板（210）、气体分布板（212、214、215）、气体连接板（216）叠加在一起后形成若干相互独立的气体通道（303c、307c、305c），该气体通道包括第一前体气体通道（307）、第二前体气体通道（303）和载气通道（305）；所述气体喷射板（210）的上侧面、气体连接板（216）的下侧面以及各气体分布板（212、214、215）的上、下侧面均设有用于容纳冷却液管道（211、213、217、218）的两个凹槽（308a，301b、302b），两个凹槽（308a）之间通过狭缝（305e）隔开，在所述凹槽（308a，301b、302b）内冷却液管道折弯水平布置；所述测量仪安装窗口（205）内设有与气体接口连通的狭缝（305e）；所述气体连接板（216）和各气体分布板（212、214、215）上均设有冷却液管道安装通孔。

2.根据权利要求1所述的用于金属有机化学气相沉积反应器的管道冷却式气体分布装置，其特征在于，所述气体分布板（212、214、215）有三块。

3.根据权利要求1或2所述的用于金属有机化学气相沉积反应器的管道冷却式气体分布装置，其特征在于，所述凹槽（308a，301b、302b）的横截面为半圆形，半圆形的弦与所述狭缝（305e）共线。

4.根据权利要求1或2所述的用于金属有机化学气相沉积反应器的管道冷却式气体分布装置，其特征在于，所述冷却液管道（211、213、217、218）的数量为1-16根。

5.根据权利要求4所述的用于金属有机化学气相沉积反应器的管道冷却式气体分布装置，其特征在于，当冷却液管道为多根时，多根冷却液管道（211、213、217、218）为相互独立的冷却通道。

6.根据权利要求1或5所述的用于金属有机化学气相沉积反应器的管道冷却式气体分布装置，其特征在于，所述冷却液管道与气体喷射板（210）、气体连接板（216）、气体分布板（212、214、215）之间的连接采用真空扩散焊接连接或真空熔焊连接或与所述凹槽定位连接。

7.根据权利要求1或2所述的用于金属有机化学气相沉积反应器的管道冷却式气体分布装置，其特征在于，所述凹槽（308a，301b、302b）的横截面为半椭圆形或多边形。

8.根据权利要求1或2所述的用于金属有机化学气相沉积反应器的管道冷却式气体分布装置，其特征在于，所述测量仪安装窗口（205）安装有晶片翘曲度测量探头。