[发明专利]微结构力学性能片外弯曲测试装置

权利要求书

1.一种微结构力学性能片外弯曲测试装置，其特征是包括三维移动平台、抗振固定块、隔振底座、试样夹持部分、驱动部分、载荷检测部分、位移检测部分和放大观测部分；所述三维移动平台设在隔振底座的一侧，所述抗振固定块设在隔振底座的另一侧，所述试样夹持部分设在抗振固定块上，所述驱动部分设在三维移动平台上，所述载荷检测部分与驱动部分连接并与试样夹持部分对应，所述位移检测部分设在三维移动平台和抗振固定块之间，所述放大观测部分设在隔振底座上对准试样夹持部分。

2.根据权利要求1所述的微结构力学性能片外弯曲测试装置，其特征是所述三维移动平台包括两个在水平方向正交布置的两个单轴直线运动的水平位移台和一个垂直方向布置的单轴直线运动的垂直位移台。

3.根据权利要求1或2所述的微结构力学性能片外弯曲测试装置，其特征是所述驱动部分包括封装的致动器及固定致动器的固定架，固定架固定在垂直方向的垂直位移台上。

4.根据权利要求3所述的微结构力学性能片外弯曲测试装置，其特征是所述载荷检测部分包括顶针、微力传感器，所述顶针固定在微力传感器的一端上，微力传感器的另一端通过微力传感器连接件固定在致动器上。

5.根据权利要求4所述的微结构力学性能片外弯曲测试装置，其特征是所述位移检测部分包括位移传感器及位移传感器感应块，位移传感器感应块设在抗振固定块上，位移传感器通过位移传感器连接件固定在致动器上。

6.根据权利要求5所述的微结构力学性能片外弯曲测试装置，其特征是所述试样夹持部分包括本体，本体的正面设有正方形凹槽，凹槽中心设有中央通孔，本体的四周设有伸入凹槽的紧固螺杆。

7.根据权利要求6所述的微结构力学性能片外弯曲测试装置，其特征是所述放大观测部分包括CCD摄像机、显微镜和三自由度运动支架，三自由度运动支架包括设在隔振底座上的竖杆、沿竖杆运动的横杆、沿横杆运动且绕横杆转动的支杆，CCD摄像机设在显微镜的目镜上，显微镜固定在支杆上并对准试样夹持部分上的正方形凹槽。