[发明专利]一种无机盐掺杂纳米氧化锌薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种无机盐掺杂纳米氧化锌薄膜的制备方法，按照下述步骤进行：首先配制含锌的先驱体溶液，然后掺入无机盐配成电解液，随后进行电化学沉积，最后将沉积物退火处理即得纳米氧化锌薄膜。

2.根据权利要求1所述的无机盐掺杂纳米氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：

其中配制电解液的步骤为，室温下在50ml锌盐溶液中加入无机盐，搅拌均匀后放置待用，所述的锌盐与无机盐的摩尔比为（0.05-0.1）：（0.05-0.1），搅拌均匀后放置待用，所述的锌盐溶液的摩尔浓度为0.05～0.1mol·L^-1，所述的无机盐浓度为0.05-0.1 mol·L^-1；

其中所述的电化学沉积是将上述的先驱体溶液转入三电极体系中进行沉积，其中所述的三电极体系是以导电衬底作为工作电极，铂电极作为辅助电极，饱和甘汞电极作为参比电极，沉积温度25～50℃，沉积时间5～20min，沉积电位-0.9～-1.5V；

其中后处理是将经电化学沉积所得的产物用去离子水冲洗、干燥，置于马弗炉中于500℃煅烧1h，冷却至室温。

3.根据权利要求1所述的无机盐掺杂纳米氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：所述的导电衬底为ITO导电玻璃，所述的沉积电位为-1.1V，沉积时间为10min。

4.根据权利要求1所述的无机盐掺杂纳米氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：所述的锌盐为硝酸锌或氯化锌。

5.根据权利要求1所述的无机盐掺杂纳米氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：所述的无机盐为氯化钠或硝酸钠。