[发明专利]一种节能感应圈及应用该感应圈的晶体生长炉无效
申请号: | 201310235289.0 | 申请日: | 2013-06-14 |
公开(公告)号: | CN103334157A | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 王彪;沈文彬;朱允中;林少鹏 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;H05B6/36 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 陈卫 |
地址: | 510275 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 节能 感应圈 应用 晶体生长 | ||
1.一种节能感应圈,其特征在于,包括线管(10),线管(10)包括导电部(11),导电部(11)内为中空部(12),导电部(11)外包覆包裹层(13);所述的导电部(11)包括多条细铜线(111),多条细铜线(111)之间为充填物(112);所述的中空部(12)内部流通冷却液;感应圈由线管(10)绕制而成。
2.根据权利要求1所述的一种节能感应圈,其特征在于,所述的充填物(112)为耐高温树脂。
3.根据权利要求1所述的一种节能感应圈,其特征在于,所述的包裹层(13)为玻璃纤维。
4.一种晶体生长炉,其特征在于应用权利要求1至3任一所述的节能感应圈,包括坩埚(20),设于坩埚(20)外的保温罩(30),线管(10)盘绕于保温罩(30)的外壁上;感应圈还包括两个引出段(14), 引出段(14)的端部设有电极(50),冷却液由其中一引出段(14)流入线管(10),由另外一引出段(14)流出线管(10)。
5.根据权利要求4所述的一种晶体生长炉,其特征在于,所述的线管(10)盘绕于保温罩(30)的外壁上的形状为圆柱形,其每层线管(10)的圆心位于同一竖直线上,每层线管(10)的包裹层(13)相互接触。
6.根据权利要求5所述的一种晶体生长炉,其特征在于,所述的包裹层(13)外部与保温罩(30)之间还设有绝热材料。
7.根据权利要求5所述的一种晶体生长炉,其特征在于,所述的线管(10)盘绕于保温罩(30)外壁的圆柱形底部还设有底盘(60)。
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