[发明专利]放射线检测装置及其制造方法和成像系统

说明书

技术领域

本发明涉及放射线检测装置、制造该放射线检测装置的方法、以及成像系统。

背景技术

日本专利公开No.2002-48870公开了用于大屏幕的、在其中布置多个传感器面板的放射线检测装置的结构。各传感器面板包括闪烁体层3和保护膜4（闪烁体保护层），闪烁体层3形成在光接收部分22（像素部分）上，光接收部分22（像素部分）设置在基板20上，保护膜4被形成为覆盖闪烁体层3。以这种方式，在使用闪烁体层的放射线检测装置中，有必要用保护层覆盖闪烁体层以防止闪烁体层的潮解。

根据日本专利公开No.2002-48870，相邻面板中的每个在其侧表面上经由UV可固化树脂被固定。在以上结构中，因为没有像素可被布置在传感器面板与其相邻的传感器面板之间的边界上，所以具有在其中不存在像素的部分。这导致显著的问题，除非在像素尺寸随像素密度增大而减小的同时，相邻传感器面板之间的距离减小。

发明内容

本发明提供一种对增大用于大屏幕的放射线检测装置的像素密度有效的技术。

本发明在其第一方面提供一种包括传感器面板的放射线检测装置，所述传感器面板包括检测放射线并且排列的多个传感器单元，所述多个传感器单元中的每个包括像素阵列、闪烁体层和第一闪烁体保护层，所述像素阵列包括检测光并且二维布置的多个像素，所述闪烁体层将放射线转换为光，所述第一闪烁体保护层被设置为覆盖闪烁体层，并且所述放射线检测装置还包括被设置为覆盖所述多个传感器单元的第二闪烁体保护层。

本发明在其第二方面提供一种制造放射线检测装置的方法，所述方法包括：第一步骤，形成排列在基板上的多个像素的像素阵列组；第二步骤，在第一步骤中形成的像素阵列组上形成闪烁体层；第三步骤，将在第二步骤中在其上形成闪烁体层的像素阵列组分割为多个块；第四步骤，通过对于在第三步骤中获得的所述多个块中的每个形成第一闪烁体保护层以便覆盖闪烁体层来获取多个传感器单元；第五步骤，形成由多个传感器单元构成的传感器面板，所述多个传感器单元包括在第四步骤中获得的传感器单元中的至少一个；以及第六步骤，在第五步骤中获得的传感器面板上形成第二闪烁体保护层，以便覆盖构成传感器面板的所述多个传感器单元。

从以下参照附图对示例性实施例的描述，本发明的进一步的特征将变得清楚。

附图说明

图1A至1C是用于解释第一实施例的布置的例子的示图；

图2A和2B是用于解释第一实施例的布置的例子的放大图；

图3是用于解释比较例子的放大图；

图4A和4B是用于解释第一实施例的布置的另一个例子的示图；

图5A至5G是用于解释第一实施例的制造方法的例子的示图；

图6A和6B是用于解释第二实施例的布置的例子的示图；

图7A至7G是用于解释第二实施例的制造方法的例子的示图；

图8是用于解释对系统的应用例子的示图；和

图9是用于解释通过实施例和比较例子获得的结果的示图。

具体实施方式

（第一实施例）

将参照图1A至5来描述第一实施例的放射线检测装置11。图1A至1C示意性地示出放射线检测装置11的结构。图1A是放射线检测装置11的示意性平面图。图1B示意性地示出沿着图1A中示出的切割线X-X′截取的放射线检测装置11的截面结构。图1C示意性地示出沿着切割线Y-Y′截取的放射线检测装置11的截面结构。放射线检测装置11包括传感器面板30，在传感器面板30中，排列用于检测放射线（包括电磁波，比如，X射线、α射线、β射线和γ射线）的多个传感器单元20。图1A示出四个传感器单元20。然而，传感器单元20的数量不限于四个，可以是两个或三个或五个或更多个。多个传感器单元20包括例如被布置为彼此相邻的第一传感器单元20₁和第二传感器单元20₂。各个传感器单元20可通过粘附层32被布置在基座35上。基座35可支承用粘附层32固定的各个传感器单元20。

图2A和2B是示意性地示出第一传感器单元20₁和第二传感器单元20₂之间的边界区域K的放大图。图2A是边界区域K的截面图。图2B是边界区域K的平面图。