[发明专利]夹具有效
申请号: | 201310239207.X | 申请日: | 2013-06-17 |
公开(公告)号: | CN103545240B | 公开(公告)日: | 2017-09-08 |
发明(设计)人: | 李相允;郑盛祐 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L51/56 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司11204 | 代理人: | 余朦,杨莘 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹具 | ||
技术领域
本公开大体上涉及夹具。更具体地,本公开大体上涉及在有机发光层的沉积中使用的向单元掩模施加张力的夹具。
背景技术
作为显示图像的显示装置,有机发光二极管(OLED)显示器近年来受到公众的关注。
为了制造OLED显示器,应当形成具有特定图案的电极、有机发光层等。用于形成电极和有机发光层等的方法可以应用到使用掩模组件的沉积方法中。
更具体地说,OLED显示器包括像素和有机发光二极管,其中像素是在衬底上显示图像的基本单元并且成矩阵式排列,有机发光二极管具有顺序形成的阳极(第一电极)和阴极(第二电极),用于每个像素的每个发射诸如红色、绿色、以及蓝色等光的有机发光层放置在这两者之间。
发明内容
本公开的实施方式针对夹持被支承的单元掩模的端部并且张力被施加至该单元掩模的夹具,该夹具包括夹具主体和旋转接触部分,其中旋转接触部分由夹具主体可旋转地支承并且直接与单元掩模的端部接触。
夹具主体和旋转接触部分之一可以包括凹进的第二部分,夹具主体和旋转接触部分中的另一个可以包括插入该凹进的第二部分的旋转轴。
该夹具还可以包括设置在凹进的第二部分与旋转轴之间的轴承。
弹性恢复力可以产生在旋转接触部分与夹具主体之间。
该夹具还可以包括连接旋转接触部分和夹具主体并且产生弹性恢复力的复位弹簧。
该夹具还可以包括设置在旋转接触部分与夹具主体之间并且限制旋转接触部分的旋转的止动装置,当旋转接触部分与单元掩模的端部接触时,该止动装置能够从旋转接触部分与夹具主体之间移动到夹具主体中。
旋转接触部分可以包括第一子旋转接触部分和第二子旋转接触部分,其中第一子旋转接触部分与单元掩模的端部的底侧接触,第二子旋转接触部分与单元掩模的端部的上侧接触。夹具主体可以包括设置在单元掩模的端部的底侧中的一对第一钳和设置在单元掩模的端部的上侧中的一对第二钳,第一钳包括凹进的第一沟槽并且第一子旋转接触部分位于第一沟槽中,第二钳在第一钳的方向上可旋转,并且第二钳包括第二子旋转接触部分所处的凹进的第二沟槽。
该夹具还可以包括第一止动装置和第二止动装置,该第一止动装置设置在第一子旋转接触部分与第一钳之间以限制第一子旋转接触部分的旋转,当第一子旋转接触部分与单元掩模的端部接触时,第一止动装置能够从第一子旋转接触部分与第一钳之间移动到第一钳中,该第二止动装置设置在第二子旋转接触部分与第二钳之间以限制第二子旋转接触部分的旋转,当第二子旋转接触部分与单元掩模的端部接触时,第二止动装置能够从第二子旋转接触部分与第二钳之间移动到第二钳中。
第一钳还可以包括第一凸起侧,该第一凸起侧设置在与和单元掩模的端部接触的第一子旋转接触部分的第一接触侧对准的虚拟线上。第二钳还可以包括第二凸起侧,第二凸起侧设置在与和第二掩模的端部接触的第二子旋转接触部分的第二接触侧对准的虚拟线上。第一止动装置可以包括第一止动装置主体和第一弹簧,该第一止动装置主体从第一子旋转接触部分与第一钳之间以弯曲的方式延伸到第一钳中并且穿过第一凸起侧,第一弹簧位于第一钳中并且在第一止动装置主体与第一钳之间产生弹性恢复力。第二止动装置可以包括第二止动装置主体和第二弹簧,该第二止动装置主体从第二子旋转接触部分与第二钳之间以弯曲的方式延伸到第二钳中并且穿过第二凸起侧,该第二弹簧设置在第二钳中并且在第二止动装置主体与第二钳之间产生弹性恢复力。
第一止动装置可以包括第三止动装置主体和第三弹簧,该第三主体从第一子旋转接触部分与第一钳之间以弯曲的方式延伸到第一钳中,然后以朝第一钳的外侧弯曲的方式凸起,该第三弹簧设置第一钳中并且在第三主体与第一钳之间产生弹性恢复力。第二止动装置可以包括第四止动装置主体和第四弹簧,该第四止动装置主体从第二子旋转接触部分与第二钳之间延伸到第二钳中,然后以朝第二钳的外侧弯曲的方式凸起并且与第三止动装置主体交叠,该第四弹簧设置第二钳中并且在第四止动装置主体与第二钳之间产生弹性恢复力。第一钳还可以包括在第二钳的方向上凸起的凸起件。第二钳还可以包括能够由凸起件升起的重物、从重物延伸并且由第二钳支承的杠杆轴、以及包括从杠杆轴延伸至第四止动装置的钩的杠杆臂。
附图说明
图1是使用根据示例性实施方式的夹具制造的掩模组件的立体图;
图2示出使用根据示例性实施方式的夹具施加有张力的单元掩模;
图3是图2所示的根据示例性实施方式的夹具的剖视图;
图4是图3中的“A”的俯视平面图;
图5是根据另一示例性实施方式的夹具的剖视图;
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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