[发明专利]一种带升降真空爪的六自由度微动台

权利要求书

1.一种带升降真空爪的六自由度微动台，含有实现微动工作台在水平面内沿X方向、Y方向和绕Z轴旋转的第一种电磁力驱动模块和实现微动工作台沿Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的第二种电磁力驱动模块，还含有真空吸盘（4）、微动台上盖（3）和基座（1），所述真空吸盘（4）设置在微动台上盖（3）的上表面的凹槽内，并与电磁力驱动模块的动子部分连接在一起，其特征在于：所述的六自由度微动台还含有一个升降真空爪（5），所述的升降真空爪（5）布置在微动台上盖（3）的下方，该升降真空爪（5）包括驱动模块、导向模块和测量模块；

所述的驱动模块采用一个动圈式音圈电机，音圈电机底座（18）上沿圆周方向均布有至少四个真空抓取柱（16），真空抓取柱（16）为细长中空管，真空抓取柱（16）的真空气路通过音圈电机底座（18）中的环形槽彼此连通；多个真空抓取柱（16）分别穿入真空吸盘（4）和微动台上盖（3）对应的多个孔中；音圈电机的线圈和线圈骨架（15）固定在音圈电机底座（18）中；音圈电机的永磁体部分通过一个音圈电机固定环（17）通过六自由度微动台的驱动模块的定子部分与基座（1）连接在一起；

所述的导向模块包含两组微型滚珠导轨，该两组微型滚珠导轨布置在所述的音圈电机固定环（17）的圆柱孔内，两组微型滚珠导轨的滑块（21）通过滑块安装座（23）对称安装在音圈电机底座（18）上，两组微型滚珠导轨的滑轨（22）通过T型安装板（34）对称安装在音圈电机固定环（17）上；

所述的测量模块采用一个线性光栅尺传感器组件，该线性光栅尺传感器组件包括线性光栅尺（31）和光栅读数头（33）；所述的线性光栅尺（31）固定在所述的滑块安装座（23）中；所述的光栅读数头（33）固定在所述的T型安装板（34）上，并保证光栅读数头（33）与线性光栅尺（31）的位置相对应，同时保证两者之间具有间隙。