[发明专利]位置测量装置

权利要求书

1.一种用于检测两个机器组件的相对位置的位置测量装置，所述机器组件至少沿第一主运动方向(Y)和第二主运动方向(X)在移动平面中相对彼此可运动地布置，所述位置测量装置具有：

-至少一个量具，所述量具布置在第一机器组件上，和

-至少六个第一扫描单元，所述第一扫描单元布置在第二机器组件上并且用于在所述移动平面中在至少两个测量方向(MR1，MR2)上光学扫描所述量具，其中

-每个所述测量方向(MR1，MR2)对应于至少两个所述第一扫描单元，和

-在所述移动平面中的分别一个所述测量方向(MR1，MR2)的所述第一扫描单元非点对称式地相对于所述第二机器组件的中心(S)布置。

2.根据权利要求1所述的位置测量装置，具有至少三个第二扫描单元，所述第二扫描单元设计用于检测两个所述机器组件沿另一个方向(Z)的相对位置，其中，所述方向垂直于所述移动平面指向。

3.根据权利要求1所述的位置测量装置，其中，所述第一扫描单元以共同的测量方向(MR1，MR2)在所述移动平面中未布置在共同的连接直线上。

4.根据权利要求1所述的位置测量装置，其中，

-通过在所述移动平面中的、在所述第二机器组件的所述中心(S)处交叉的两个彼此垂直竖立的轴(A₁，A₂)，形成具有四个象限的笛卡尔坐标系，和

-在至少两个所述象限中，每至少两个所述第一扫描单元以分别相同的所述测量方向(MR1，MR2)布置。

5.根据权利要求1所述的位置测量装置，其中，

-通过在所述移动平面中的、在所述第二机器组件的所述中心(S)处交叉的两个彼此垂直竖立的轴(A₁，A₂)，形成具有四个象限的笛卡尔坐标系，和

-在至少三个所述象限中，每至少两个所述第一扫描单元以分别相同的所述测量方向(MR1，MR2)布置。

6.根据权利要求1所述的位置测量装置，其中，

-通过在所述移动平面中的、在所述第二机器组件的所述中心(S)处交叉的两个彼此垂直竖立的轴(A₁，A₂)，形成具有四个象限的笛卡尔坐标系，和

-在所有四个所述象限中，每至少两个所述第一扫描单元以分别相同的所述测量方向(MR1，MR2)布置。

7.根据权利要求4、5或6中任一项所述的位置测量装置，其中，布置在对角相对布置的所述象限中的所述第一扫描单元都分别具有相同的所述测量方向(MR1，MR2)。

8.根据权利要求4、5或6中任一项所述的位置测量装置，其中，在至少三个所述象限中布置有第二扫描单元，所述第二扫描单元设计用于检测两个所述机器组件沿另一个方向的相对位置，其中，所述方向垂直于所述移动平面指向。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的位置测量装置，其中，用于所述移动平面中的测量方向的至少一个第一扫描单元与用于垂直于所述移动平面的测量方向的第二扫描单元共同集成在组合的扫描单元中。

10.根据权利要求7所述的位置测量装置，其中，用于所述移动平面中的测量方向的至少一个第一扫描单元与用于垂直于所述移动平面的测量方向的第二扫描单元共同集成在组合的扫描单元中。

11.根据权利要求8所述的位置测量装置，其中，用于所述移动平面中的测量方向的至少一个第一扫描单元与用于垂直于所述移动平面的测量方向的第二扫描单元共同集成在组合的扫描单元中。

12.一种对根据权利要求1至11中任一项所述的位置测量装置的应用，-用于检测可运动地布置的机器组件的多个自由度，和

-用于检测所述机器组件的振动。

13.根据权利要求12所述的对位置测量装置的应用，其中实施所述对位置测量装置的应用以用于检测所使用的量具的误差。