[发明专利]法布里-珀罗干涉仪

权利要求书

1.一种法布里-珀罗干涉仪，包括：

输入镜子（50），布置在光的输入侧；以及

输出镜子（30），布置在所述光的输出侧，所述输出镜子隔着间隙（AG）在第一方向上面对所述输入镜子，

其中，所述输入镜子和所述输出镜子中的每一镜子包括一对高折射层（31，32，51，52）和选择性地布置在所述一对高折射层之间的空隙层（33，53），并且所述一对高折射层中的每一高折射层的折射率大于所述空隙层的折射率，

其中，在所述输入镜子中，所述一对高折射层（51，52）和所述空隙层（53）提供输入侧桥部分（54），所述输入侧桥部分（54）跨过限定于所述输入镜子与所述输出镜子之间的所述间隙，

其中，在所述输出镜子中，所述一对高折射层（31，32）和所述空隙层（33）提供输出侧桥部分（34），所述输出侧桥部分（34）跨过限定于所述输入镜子与所述输出镜子之间的所述间隙，

其中，所述输入侧桥部分和所述输出侧桥部分中的至少之一作为隔膜可在所述第一方向上移动，

其中，所述输入侧桥部分和所述输出侧桥部分中的每一桥部分包括透射部（S1，S2）和围绕所述透射部布置的周边部（T1，T2），并且所述透射部中的每一透射部包括镜子元件（M1，M2），在所述镜子元件（M1，M2）中，所述空隙层由所述一对高折射层夹置，

其中，所述输入镜子的所述透射部布置为面对所述输出镜子的所述透射部，

其中，从所述输出镜子输出的光称为透射光，

其中，在垂直于所述第一方向的第二方向上，所述输入镜子（50）的所述镜子元件（M2）的宽度大于所述透射光的最大波长的七倍，并且所述输入镜子（50）的所述镜子元件（M2）用作衍射限制镜子。

2.根据权利要求1所述的法布里-珀罗干涉仪，

其中，所述衍射限制镜子在所述第二方向上的宽度等于或大于所述透射光的所述最大波长的十倍。

3.根据权利要求2所述的法布里-珀罗干涉仪，

其中，所述衍射限制镜子在所述第二方向上的所述宽度等于或大于所述透射光的所述最大波长的十五倍。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的法布里-珀罗干涉仪，

其中，所述输入镜子的所述透射部仅具有一个镜子元件。

5.根据权利要求4所述的法布里-珀罗干涉仪，还包括：

支撑区（32c，52c），

其中，所述输入镜子和所述输出镜子中的每一镜子的所述一对高折射层包括第一高折射层（31，51）和第二高折射层（32，52），

其中，所述第二高折射层包括浮置区（32a，52a），所述浮置区（32a，52a）隔着所述空隙层位于所述第一高折射层以上，并且

其中，所述支撑区布置在所述第一高折射层上并支撑位于所述第一高折射层以上的所述浮置区。

6.根据权利要求5所述的法布里-珀罗干涉仪，

其中，所述支撑区由所述第二高折射层提供。

7.根据权利要求1至3中的任意一项所述的法布里-珀罗干涉仪，还包括：

支撑区（32b，52b），

其中，所述输入镜子和所述输出镜子中的每一镜子的所述一对高折射层包括第一高折射层（31，51）和第二高折射层（32，52），

其中，所述第二高折射层包括浮置区（32a，52a），所述浮置区（32a，52a）隔着所述空隙层位于所述第一高折射层以上，

其中，所述支撑区布置在所述第一高折射层上并支撑位于所述第一高折射层以上的所述浮置区，并且

其中，所述输入镜子的所述透射部包括由所述支撑区划分的多个所述镜子元件。

8.根据权利要求7所述的法布里-珀罗干涉仪，

其中，所述支撑区（32b，32c，52b，52c）由所述第二高折射层提供。

9.根据权利要求1至3中的任意一项所述的法布里-珀罗干涉仪，

其中，在所述第二方向上，所述输入镜子的所述镜子元件的所述宽度大于所述输出镜子的所述镜子元件的宽度。