[发明专利]结合装置和结合方法有效
申请号: | 201310240841.5 | 申请日: | 2013-06-18 |
公开(公告)号: | CN103972131B | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 严东斌 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 张红霞;周艳玲 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 结合装置 支架 基板 结合工具 清洁组件 清洁 安置 | ||
1.一种结合装置,包括:
具有一个表面的支架,基板的至少一部分安置在所述一个表面上;
将器件附接到所述基板的结合工具;和
被安装在所述支架上以便清洁所述支架的所述一个表面的清洁组件,
其中所述清洁组件在清洁的同时至少部分接触所述支架的所述一个表面,并且
其中所述清洁组件在所述基板安置在所述支架上之前清洁所述支架的所述一个表面。
2.如权利要求1所述的结合装置,其中所述清洁组件包括至少一个清洁单元,所述至少一个清洁单元在沿与所述支架的所述一个表面平行的第一方向或者沿与所述第一方向相反的方向移动的同时清洁所述支架的所述一个表面。
3.如权利要求2所述的结合装置,其中所述至少一个清洁单元包括第一清洁单元和第二清洁单元,并且
所述第一清洁单元和所述第二清洁单元平行于所述支架的所述一个表面并排设置。
4.如权利要求3所述的结合装置,其中所述第一清洁单元包括辊筒、吹风机和叶片中的至少一个,并且
所述第二清洁单元包括真空吸入器。
5.如权利要求2所述的结合装置,其中所述清洁组件进一步包括:
平行于所述支架的所述一个表面设置以与所述支架的所述一个表面分开的传送板;和
将所述传送板沿所述第一方向或者沿与所述第一方向相反的所述方向移动的传送轨道;
其中所述清洁单元被设置在所述传送板的面对所述支架的所述一个表面的一个表面上。
6.如权利要求2所述的结合装置,其中所述清洁组件进一步包括位于所述支架的侧表面上的至少一个集尘器。
7.如权利要求6所述的结合装置,其中多个集尘器被提供并位于所述支架的所述侧表面上,所述侧表面沿所述第一方向以及沿与所述第一方向相反的所述方向定位。
8.如权利要求1所述的结合装置,其中所述结合工具通过将所述器件热压在所述基板上而将所述器件安装在所述基板上。
9.如权利要求1所述的结合装置,进一步包括确认在所述支架的所述一个表面上是否存在外来物质的传感器。
10.如权利要求9所述的结合装置,其中所述传感器包括光发射部分和光接收部分,
其中所述光发射部分发射与所述支架的所述一个表面平行的光,并且所述光接收部分接收所发射的光。
11.如权利要求9所述的结合装置,进一步包括控制器,如果所述传感器确认在所述支架的所述一个表面上存在外来物质,则所述控制器操作所述清洁组件。
12.一种结合装置,包括:
具有一个表面的支架,基板的至少一部分安置在所述一个表面上;将器件附接到所述基板的结合工具;和
被安装在所述支架上以便清洁所述支架的所述一个表面的清洁组件,
其中所述一个表面包括多个孔,并且所述支架通过所述多个孔吸入空气和所述一个表面上的外来物质,
其中所述清洁组件在清洁的同时至少部分接触所述支架的所述一个表面,并且
其中所述清洁组件在所述基板安置在所述支架上之前清洁所述支架的所述一个表面。
13.如权利要求12所述的结合装置,其中所述清洁组件包括至少一个清洁单元,所述至少一个清洁单元在沿与所述支架的所述一个表面平行的第一方向或者沿与所述第一方向相反的方向移动的同时清洁所述支架的所述一个表面。
14.如权利要求13所述的结合装置,其中所述清洁单元包括辊筒、吹风机和叶片中的至少一个。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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