[发明专利]真空炉抽气系统及其抽气工艺

权利要求书

1.一种真空炉抽气系统，用于抽真空，其特征在于，包括真空室，所述真空室分别连接有电弧钛泵、牵引分子泵和粗抽泵，所述牵引分子泵与一前级泵连接，所述真空室和牵引分子泵之间设有一第一真空阀，所述牵引分子泵和前级泵之间设有一第二真空阀，所述真空室和粗抽泵之间设有一第三真空阀；

所述电弧钛泵包括钛靶以及与所述钛靶连接的阴极弧源基座，所述钛靶设于所述真空室之内，所述阴极弧源基座设于所述真空室之外，所述阴极弧源基座通过一绝缘垫与所述真空室固定连接，所述阴极弧源基座上设有一永久磁铁，所述阴极弧源基座内设有一冷却水槽，所述阴极弧源基座上开设有一与所述冷却水槽连通的进水口和一与所述冷却水槽连通的出水口，所述钛靶和/或阴极弧源基座上开设有至少一与所述真空室连通的气孔。

2.根据权利要求1所述的真空炉抽气系统，其特征在于，所述钛靶和阴极弧源基座连接处的残留空间还设有一弹性导热层。

3.根据权利要求2所述的真空炉抽气系统，其特征在于，所述弹性导热层由金属导热材料制成。

4.根据权利要求2所述的真空炉抽气系统，其特征在于，所述弹性导热层由非金属导热材料制成。

5.根据权利要求1所述的真空炉抽气系统，其特征在于，所述气孔的内径为2~3mm，所述气孔的数量为1~3个。

6.根据权利要求1所述的真空炉抽气系统，其特征在于，所述真空室和电弧钛泵之间设有一第四真空阀。

7.一种如权利要求1~6中任一项所述的真空炉抽气系统的抽气工艺，其特征在于包括如下步骤：

（1）粗抽阶段：由粗抽泵抽气，将真空室的压强从大气压抽至50~200 Pa； 

（2）中真空阶段：由牵引分子泵+前级泵抽气，将真空室压强由50~200 Pa抽至0.1Pa；

（3）精抽阶段：由电弧钛泵+牵引分子泵+前级泵抽气，将真空室压强由0.1 Pa抽至10^-2~10^-4Pa，其中，高真空的活性气体由电弧钛泵抽出，高真空的惰性气体以及中真空气体由牵引分子泵和前级泵抽出。

8.根据权利要求7所述的真空炉抽气系统的抽气工艺，其特征在于，所述步骤（3）中，所述电弧钛泵抽气结束之后，暴露于大气之前，使所述钛靶冷却3~15min。