[发明专利]用于真空加工系统中的基板放置的方法和设备

权利要求书

1.一种装置，包括：

真空加工腔室；

可移动基板固持器，其安装在所述真空腔室内，所述可移动基板固持器具有选自如下自由度的至少一个移动自由度：相对基板移动进入和离开所述真空加工腔室的方向平移的平移自由度、或者旋转自由度；

基板输送系统，其耦接到所述真空加工腔室，并且被配置成将基板传送到所述真空加工腔室中并且将所述基板安置在所述可移动基板固持器上；

基板升举系统，其设置成使所述基板在所述基板输送系统和所述可移动基板固持器的基板支承表面之间竖直平移；以及

基板固持器移位单元，其耦接到所述可移动基板固持器，并且被配置成可移动地调整所述可移动基板固持器并且校正所述可移动基板固持器和所述基板之间的未对准。

2.根据权利要求1所述的装置，进一步包括：

检测系统，其设置在所述真空加工腔室中以检测所述可移动基板固持器和所述基板之间的所述未对准。

3.根据权利要求2所述的装置，其中所述检测系统包括光学检测系统。

4.根据权利要求2所述的装置，其中所述检测系统包括光学末端传感器或相机。

5.根据权利要求2所述的装置，进一步包括：

控制器，其耦接到所述检测系统和所述基板固持器移位单元，所述控制器被配置成使用所述基板固持器移位单元和从所述检测系统接收到的数据来可控地调整所述可移动基板固持器。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述可移动基板固持器设置在滑导、辊或导轨上以提供相对基板移动进入和离开所述真空加工腔室的方向平移的所述平移自由度。

7.根据权利要求1所述的装置，其中所述可移动基板固持器设置在滚球轴承上以提供所述旋转自由度。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述基板输送系统包括安装在所述真空加工腔室的侧壁上的可缩回的轮或辊。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述基板固持器移位单元包括：

底板，其可固定地安装在所述真空加工腔室的底部；

可旋转柱，其可旋转地安装到所述底板，所述可旋转柱具有从上远端延伸并且接合所述可移动基板固持器的销；以及

杆臂，可固定地耦接到所述可旋转柱并且被设置为允许经由所述可旋转柱的旋转来手动调整所述可移动基板固持器。

10.一种方法，包括：

使用基板输送系统将基板传送到真空加工腔室中并且将所述基板定位在安装在所述真空加工腔室内的可移动基板固持器之上；

通过执行以下操作至少之一来使所述可移动基板固持器相对于所述基板移位以校正所述可移动基板固持器和所述基板之间的未对准：使所述可移动基板固持器沿平移自由度平移以及使所述可移动基板固持器旋转，其中平移自由度相对基板移动进入和离开所述真空加工腔室的方向平移；以及

使用基板升举系统使所述基板从所述基板输送系统下降到所述可移动基板固持器上的基板支承表面。