[发明专利]一种动压浮离抛光方法

权利要求书

1.一种动压浮离抛光方法，其特征在于：将粘贴有工件的基盘沿圆周方向制成有若干个倾斜平面的圆盘在液体中转动时，通过液体楔产生液体动压，使保持环中的工件浮离圆盘表面，通过浮动间隙的粉末颗粒对工件进行抛光。

2.如权利要求1所述的动压浮离抛光方法，其特征在于：实现所述动压浮离抛光方法的装置包括机架、电容测距模块，动压盘浮离模块，微动限位模块和伺服微进给模块；其中，

电容测距模块是依靠嵌在主研磨盘上的三个电容传感器实现的。电容传感器利用位移量的变化使电容器的电容量发生变化，实现信号变换；

动压盘浮离模块中浮离抛光盘由安装在滑台上的转轴带动，抛光盘和滑台底部安装有设定预紧力的弹簧，抛光盘和转轴采用间隙配合的花键连接，起到导向及传递扭矩的作用，当产生的动压力超过时，抛光盘能沿着花键上下运动，实现动压浮离抛光；

微动限位模块中通过微动升降器与限位板将微位移传递给推力球轴承和限位轴套，使限位轴套克服其与电机连接轴的配合摩擦，产生垂直向下的微位移，减小其与主轴上端的间隙，实现微动限位功能。伺服微进给模块通过伺服电机带动联轴器使丝杠进行转动，使丝杠螺母上下运动，从而带动滑台上下平移，从而实现微进给。