[发明专利]用于机械零部件表面耐磨损、耐腐蚀的复合涂层及制备方法

权利要求书

1.用于机械零部件表面耐磨损、耐腐蚀的复合涂层，其特征在于所述复合涂层包括过渡层和功能层，所述过渡层位于所述功能层和机械零部件表面之间。

2.根据权利要求1所述的用于机械零部件表面耐磨损、耐腐蚀的复合涂层，其特征在于所述过渡层由铬、钛或镍纯金属制备。

3.根据权利要求1所述的用于机械零部件表面耐磨损、耐腐蚀的复合涂层，其特征在于所述功能层为碳化物MC、氮化物MN或碳氮化物MNC，其中的M选自铝、或过渡金属钛、锆、钼。

4.根据权利要求2所述的用于机械零部件表面耐磨损、耐腐蚀的复合涂层，其特征在于所述过渡层的厚度在0.5μm ~5μm之间。

5.根据权利要求3所述的用于机械零部件表面耐磨损、耐腐蚀的复合涂层，其特征在于所述功能层的厚度在0.5μm ~10μm之间。

6.一种权利要求1-6中任一权利要求所述的用于机械零部件表面耐磨损、耐腐蚀的复合涂层的制备方法，其特征在于包括以下工艺步骤：

① 机械零部件经去油、去屑后，经超声波清洗并烘干后，置于非平衡磁控溅射镀膜设备的真空室中；

② 开启非平衡磁控溅射设备的真空系统，将真空室内的真空抽到3×10^-3Pa；将机械零部件加热到200℃～500℃保温30分钟；在保温过程中，同时对机械零部件进行等离子体清洗；

③ 使用氩气作为工作气体，利用非平衡磁控溅射方法制备过渡层，根据工件服役特点，过渡层的厚度制备在0.5μm ~5μm之间；

④ 使用氩气作为工作气体，通入反应气体制备功能层，根据工件服役特点，功能层的厚度制备在0.5μm ~10μm之间；所述反应气体为氮气或乙炔；

⑤ 机械零部件随炉冷却到100℃以内，取出即可。