[发明专利]一种含MEMS开关的可重构微波低通滤波器

说明书

技术领域

本发明涉及微机械系统和微波学的技术领域，尤其涉及一种含MEMS开关的可重构微波低通滤波器。

背景技术

可重构微波低通滤波器是微波无线通信系统中的重要元件之一。射频/微波微机械系统滤波器具有低损耗、高隔离、高线性度、体积小、易于和IC、MMIC电路集成等特点，可使传统的射频、微波、毫米波器件电路的结构和特性发生根本性的变化。它可以减小多波段的模拟接收前端子系统的尺寸、抑制强信号干扰和实现多波段转换，尤其在毫米波段更能体现出它的高性能品质。可重构调滤波器可以减小多波段的模拟接收前端子系统的尺寸、抑制大的信号干扰及完成多个波段转换，具有很好的高频性能。

传统的可重构的微波低通滤波器基于同轴线或微带线，制作在印刷电路板上，体积大，不利于用IC工艺集成，另外传统的谐振频率可重构的微波低通滤波器一般使用PIN二极管开关和FET开关来实现滤波器频率的可调，而这些开关需要大量的偏置电路，使得滤波器的插入损耗大，尺寸大，不适合小型射频接收机前端的应用。

发明内容

本发明目的在于克服以上现有技术之不足，提供一种含MEMS开关的可重构微波低通滤波器及其制备方法，具体有以下技术方案实现：

所述含MEMS开关的可重构微波低通滤波器，包括输入端、输出端、MEMS桥、偏压垫、偏压线、地线、信号线以及桥墩，所述MEMS膜桥分别为第一MEMS膜桥31、第二MEMS膜桥32、第三MEMS膜桥33、第四MEMS膜桥34以及第五MEMS膜桥35； 所述偏压垫分别为第一偏压垫41、第二偏压垫42以及第三偏压垫43；所述地线分别为第一地线51和第二地线52；所述第一地线50和第二地线51平行分布，所述第一MEMS膜桥31、第二MEMS膜桥32、第三MEMS膜桥33、第四MEMS膜桥34以及第五MEMS膜桥35依次垂直于第一、第二地线分布；所述相邻MEMS膜桥间连接有所述信号线；所述桥墩分别设于对应的MEMS膜桥的两端；所述输入端、输出端分别对应连接于地线及信号线的对应端；所述第一偏压垫41分别通过偏压线连接第一、第五MEMS膜桥对应端的桥墩，所述第二偏压垫42通过偏压线对应连接第三MEMS膜桥对应端的桥墩，所述第二偏压垫43通过偏压线分别连接第二、第四MEMS膜桥对应端的桥墩。

所述含MEMS开关的可重构微波低通滤波器的进一步设计在于，所述信号线分别为第一信号线71、第二信号线72、第三信号线73以及第四信号线74，所述五个桥墩中两两相邻的桥墩之间依次连接第一、第二、第三以及第四信号线。

所述含MEMS开关的可重构微波低通滤波器的进一步设计在于，所述第二、第三信号线含有缺地陷结构。

所述含MEMS开关的可重构微波低通滤波器的进一步设计在于，所述桥墩分别为第一桥墩80、第二桥墩81、第三桥墩82、第四桥墩83、第五桥墩84、第六桥墩85、第七桥墩86、第八桥墩87、第九桥墩88和第十桥墩89，所述第一、第二、第三、第四、第五桥墩分别依次对应设于第一、第二、第三、第四、第五MEMS膜桥相对于第一地线外侧的一端；所述第六、第七、第八第九、第十桥墩分别依次对应设于第一、第二、第三、第四、第五MEMS膜桥相对于第二地线外侧的一端。

所述含MEMS开关的可重构微波低通滤波器的进一步设计在于，所述偏压线分别为第一偏压线61、第二偏压线62、第三偏压线63、第四偏压线64以及第五偏压线65，所述第一偏压线61的两端分别连接第一桥墩80以及第一偏压垫41，所述第二偏压线62分别连接第五桥墩84以及第一偏压垫41，所述第三偏压线63的两端分别连接第七桥墩86以及第三偏压垫43，所述第四偏压线64的两端分别连接第八桥墩87以及第二偏压垫42，所述第五偏压线65的两端分别连接第九桥墩88以及第三偏压垫43。

所述含MEMS开关的可重构微波低通滤波器的进一步设计在于，所述输入端分别为第一输入端11、第二输入端12和第三输入端13；所述输出端分别为第一输出端21、第二输出端22以及第三输出端23；所述第一、第二、第三输入端分别连接第一地线、第一信号线以及第二地线的对应端，所述第一、第二、第三输出端分别连接第一地线、第四信号线以及第二地线的对应端。

根据所述含MEMS开关的可重构的微波低通滤波器的制备方法，总共采用一到六号六块掩膜板，具体操作步骤如下：