[发明专利]包括NFT和包覆层的装置的间层

说明书

本发明公开了包括NFT和包覆层的装置的间层。一种装置，其包括：近场换能器(NFT)；位于NFT附近的至少一个包覆层；以及位于NFT和至少一个包覆层之间的不连续金属层。

背景

热辅助磁记录(在本文中称其为“HAMR”)技术是一种将存储密度增加至1T比特/英寸²以上的很有前途的方法。HAMR头可利用近场换能器(NFT)来加热磁记录层。HAMR头中的NFT材料和周围结构的材料之间糟糕的粘附可能在处理或使用过程中导致故障。因此，仍然需要减少这些故障。

概述

披露了一种装置，该装置包括：近场换能器(NFT)；位于NFT附近的至少一个包覆层；以及位于NFT和至少一个包覆层之间的不连续金属层。

另外披露了一种装置，该装置包括：能量源；配置成从能量源接收能量的近场换能器(NFT)；位于NFT附近的至少一个包覆层；以及位于NFT和至少一个包覆层之间的不连续金属层。

还披露了一种装置，该装置包括：近场换能器(NFT)；位于NFT附近的前、后包覆层；以及位于NFT和前包覆层以及NFT和后包覆层之间的不连续金属层。

附图简述

图1是可包括HAMR装置的磁盘驱动器的立体图。

图2是垂直的HAMR磁记录头和相关的记录介质的横截面图。

图3是包括所披露的不连续金属层的磁性装置的一部分的立体图。

图4示出当暴露于粘附测试时以潜在的不连续锆层的厚度为函数的残留金膜的百分比。

图5A和5B示出在对没有不连续金属层(图5A)和具有不连续Zr层(图5B)的金NFT的下游化学机械抛光(CMP)加工之后的横截面扫描电子显微镜(SAEM)图像。

图6A示出折射率(n)而图6B示出在从400nm至1000nm的波长范围中Zr不连续层/Au层膜叠层以退火温度为函数的消光系数(κ)。

图7A和图7B是随着多种Zr厚度的增加(图7A)和在300℃下退火之后(图7B)的Zr/Au膜叠层的θ～2θ扫描。

图8A-8D示出在退火之前和之后没有和具有不连续Zr层的150m Au膜的原子力显微镜(AFM)图像。

图9A和图9B描绘出Zr厚度对Au(111)总数(图9A)和Au颗粒尺寸(图9B)的影响。

图10A和图10B示出在膜被加热时没有(图10A)和具有(图10B)所披露的不连续金属层的Au膜中产生的热应力。

图11是示出在其附近具有多种厚度的不连续Zr膜的150nm厚Au膜的归一化纳米压痕硬度的曲线图。

这些附图不一定按比例示出。附图中所使用的相同数字表示相同组件。然而，应当理解，在给定附图中使用数字表示组件并不旨在限制在另一附图中用相同数字标记该组件。

详细说明

在以下描述中，参照构成本说明书一部分的一组附图，其中通过解说示出了若干具体实施例。应当理解，可构想并作出其他实施例而不背离本公开的范围或精神。因此，以下详细描述不具有限制性含义。

除非另有规定，否则在说明书和权利要求书中使用的表示特征大小、量和物理性质的所有数字应当理解为在任何情况下均由术语“大约”修饰。因此，除非相反地指出，否则在上述说明书和所附权利要求中阐述的数值参数是近似值，这些近似值可利用本文中公开的教示根据本领域技术人员所寻求获得的期望性质而变化。

借由端点对数值范围的陈述包括归入该范围内的所有数字（例如，1至5包括1、1.5、2、2.75、3、3.80、4和5）以及该范围内的任何范围。