[发明专利]一种石英托架有效
申请号: | 201310245315.8 | 申请日: | 2013-06-19 |
公开(公告)号: | CN103354215A | 公开(公告)日: | 2013-10-16 |
发明(设计)人: | 张衡;马树明;王俊;刘晓 | 申请(专利权)人: | 合肥海润光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 刘燕娇 |
地址: | 230001 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 托架 | ||
技术领域
本发明涉及一种石英托架,该石英托架用于太阳能电池生产过程的软着陆扩散工艺流程中。
技术背景
在太阳能电池片的生产过程中,扩散为其中最为重要的工序之一,扩散后的硅片质量直接影响着太阳能电池片的高效性能。在软着陆扩散工艺流程中,需要将硅片连同石英托架一起放入扩散炉内的石英管中。在每次扩散工艺中,将装满硅片的石英托架放到SiC桨上,SiC桨进入石英管后,桨自动下沉放下石英托架和硅片,然后慢慢运行回原点,每次工艺结束后,都需要将石英托架从SiC桨上取下。如此频繁的操作,长时间会造成石英托架在SiC桨上很容易移位,石英托架的前端距离SiC桨的边缘很近,一旦石英托架的前端移出SiC桨的边缘,整个石英托架就会从SiC桨上掉落下来,进而砸坏下方的石英件、硅片和SiC桨。SiC桨的价格昂贵且不可返修,出现事故就会造成巨大的财产损失。因此,改善石英托架的结构从而避免此类事故的发生显得尤为重要。
发明内容
发明目的:本发明所要解决的技术问题是提供一种石英托架,该石英托架能够防止石英托架在SiC桨上移位时整体从SiC桨上掉落下去,从而保护了位于该石英托架下方的石英件、硅片和SiC桨,进而也避免了巨大的财产损失。
发明内容:为解决上述技术问题,本发明所采用的技术方案为:
一种石英托架,包括托架本体,所述托架本体的左右两侧设有横梁,为左横梁与右横梁,所述托架本体前后两端设有挡板,为前挡板和后挡板,在所述托架本体的中部设有防护板,所述防护板与前挡板的垂直距离小于所述横梁与后挡板的垂直距离,在所述托架本体后端还设有加压板。
其中,所述托架本体为长方形。
其中,所述左横梁与右横梁突出托架本体的高度相等,所述前挡板和后挡板突出托架本体的高度相等。
其中,所述加压板的重量大于所述后挡板的重量。
其中,所述加压板与所述后挡板并列设置在托架本体后端。
其中,所述防护板的宽度小于托架本体的宽度。
其中,所述防护板突出托架本体的高度与所述前挡板或后挡板突出托架本体的高度相同。
反应原理:当石英托架在SiC桨上移位时,即使石英托架的前端已经移出SiC桨的边缘,此时石英托架仍可以通过托架后端和托架中部的防护板形成的支撑点保持在SiC桨上,并且在托架后端设置的加压板,有效的防止了石英托架前端前移时整个托架重心的前移,从而避免石英托架从SiC桨上掉落下去。
有益效果:相比于现有技术,本发明的石英托架通过在托架后端设置加压板和在托架中部设置防护板,有效的防止了石英托架在SiC桨上移位时整体从SiC桨上掉落下去,从而很好的保护了位于石英托架下方的石英件、硅片和SiC桨,也避免了巨大财产损失事故的出现。
附图说明
图1为本发明石英托架的结构示意图;
图2为本发明石英托架的左视图。
具体实施方式
下面结合具体实施例,进一步阐明本发明,应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围,在阅读了本发明之后,本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
如图1~2所示,一种石英托架,包括托架本体1,托架本体1为长方形,所述托架本体1的左右两侧设有横梁,为左横梁2与右横梁3,左横梁2与右横梁3突出托架本体1的高度相等,所述托架本体1前后两端设有挡板,为前挡板4和后挡板5,前挡板4和后挡板5突出托架本体1的高度相等,在所述托架本体1的中部设有防护板6,所述防护板6与前挡板4的垂直距离小于所述防护板6与后挡板5的垂直距离,从而保证即使石英托架的前端已经移出SiC桨的边缘,石英托架的重心仍然在防护板6与后挡板5之间,因此石英托架仍可以通过托架后端和防护板6形成的支撑点来保持在SiC桨上,不掉落下去,在托架本体1的后端还设有加压板7,加压板7通过将托架后端的重量加重,进一步有效防止 了在托架前端脱离SiC桨时因为托架整体的重心前移而致托架整体从SiC桨上掉落下去,加压板7通过焊接的方式设置在托架本体1的后端,加压板7的重量大于后挡板5的重量,加压板7与后挡板5并列设置在托架本体1的后端,防护板6的宽度小于托架本体1的宽度,所述防护板6突出托架本体1上半部分的高度与所述前挡板4或后挡板5突出托架本体1上半部分的高度相同,防护板6突出托架本体1下半部分的高度与所述前挡板4或后挡板5突出托架本体1下半部分的高度也相同,左横梁2或右横梁3突出托架本体1的高度小于所述前挡板4或后挡板5突出托架本体1的高度。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造