[发明专利]电磁驱动电磁检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及的是一种微机电技术领域的微陀螺，具体地说，涉及的是一种利用体声波鞍形谐振模态的具有盘形谐振子的三轴微陀螺仪及其制备方法。

背景技术

陀螺仪是一种能够敏感载体角度或角速度的惯性器件，在姿态控制和导航定位等领域有着非常重要的作用。随着国防科技和航空、航天工业的发展，惯性导航系统对于陀螺仪的要求也向低成本、小体积、高精度、高可靠性、能适应各种恶劣环境的方向发展。

经对现有技术的文献检索发现，中国专利“双轴MEMS陀螺仪”（专利申请号：201020033300.7）利用MEMS体硅和键合工艺，在硅片上加工出具有弹簧和质量块的悬臂梁结构与空腔结构。通过在上下和侧面电极与质量块上施加单一特定频率的电压信号，对质量块施加静电力使得质量块振动。当有外界角速度输入时，在科氏力作用下，振动会转移到另外一个轴上去，通过电磁检测线圈电容可以检测角速度的变化。

此技术存在如下不足：该陀螺仪采用传统的弹簧-质量块的结构模型，所得到的信号灵敏度不高，Q值较低，零漂过大，抗冲击性差。此外，在施加静电力的过程中，需要对质量块也要施加接地电压。该接触对于器件的性能无疑会产生一定的影响，并且在加工复杂度上无疑大大增加。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术的不足，提供一种具有不带释放孔的圆盘振子的三轴微陀螺仪及其制备方法，该陀螺利用非接触式的驱动检测电极对陀螺进行驱动检测，减小了谐振子受外界的影响。该陀螺体积小，结构简单，品质因数大，加工工艺易于实现，能够同CMOS工艺兼容，抗冲击，不需要真空封装，适用于批量化生产。

根据本发明的一方面，提供一种电磁驱动电磁检测体声波谐振三轴微陀螺，所述陀螺包括不带释放孔的圆盘振子，圆柱形的支撑柱，基板，电磁驱动线圈、电磁检测线圈和隔离电极，其中：所述圆盘振子通过所述圆柱形的支撑柱固定在基板上，且所述圆盘振子垂直于所述基板的z轴；所述电磁驱动线圈、所述电磁检测线圈和所述隔离电极呈圆周分布于所述基板上并位于所述圆盘振子下方，同时与所述圆盘振子平行且有一间隙；所述隔离电极分布于所述电磁驱动线圈与所述电磁检测线圈之间，并按照电磁驱动线圈、隔离电极、电磁检测线圈、隔离电极、电磁驱动线圈的排列顺序，交叉循环分布。

优选地，所述电磁驱动线圈、所述电磁检测线圈和所述隔离电极与所述圆盘振子之间的间隙为2-3微米。

优选地，所述电磁驱动线圈，用于施加高频交流激励信号，对振子产生电磁吸力，激励振子产生驱动模态。

优选地，所述电磁检测线圈，用于施加交流载波信号。每一个电磁检测线圈形成一个电感，用于检测电磁力驱动振子所产生的检测模态。

优选地，所述圆盘振子是由金属或者其他导体制备而成。

根据本发明的另一方面，提供一种上述微陀螺的制备方法，其步骤如下：

(a)将基板清洗干净，烘干，在正面通过光刻工艺，溅射形成金属电极；

(b)在基板上沉积多晶硅层，厚度为2-3微米；

(c)通过光刻掩模，刻蚀多晶硅层，保留支撑柱和阻挡层；

(d)将另一个基板清洗干净，烘干，在正面通过光刻掩模工艺，刻蚀形成圆盘振子；

(e)利用键合的方法将两块基板键合起来，形成一体化的结构；

(f)利用湿法刻蚀的手段将上部多余结构去除，释放谐振结构。