[发明专利]一种超临界二氧化碳清洗精密零部件装置

说明书

技术领域

本发明提供了一种超临界二氧化碳清洗精密零部件装置，主要涉及含有盲孔及狭缝的精密零部件清洗。

背景技术

随着装备制造业的快速发展，机械零部件的精密化程度越来越高，相应地对精密零部件洁净度的要求也越来越严格，清洗精密零部件中的油污和切屑是保证其使用性能的前提。传统清洗技术的清洗装置清洗时需要使用大量高纯水和化学试剂，由此衍生的问题是大量废液造成环境污染，还需进行干燥，容易造成零件表面氧化，由于受液体表面张力大和黏度高的限制，传统清洗无法对精密零部件盲孔及狭缝微小空隙有效清洗，并且清洗中清洗装置或清洗剂可能损坏精密零部件，因此传统清洗装置也越来越无法满足精密零部件的技术要求。

中国专利文献CN101740342A公开了一种绿色二氧化碳超临界流体半导体清洗设备，主要是对半导体电子元器件清洗，没有涉及精密零部件，并且没有辅助清洗措施来增加清洗效果；山东常林机械集团申请的申请号为201210370799.4的专利提到一种用于精密清洗零部件清洗作业中的清洗釜，该清洗釜尺寸较大，内部构造复杂，装拆零件麻烦，对于微小零部件清洗效率不高；专利CN1990126A公开了一种超临界二氧化碳清洗系统与方法，清洗装置为上宽下窄漏斗形容器，清洗空间小；专利CN102211096A公开了一种超临界水射流清洗设备，利用超临界水对硅片有效清洗，喷嘴管喷出的超临界水可能有部分达不到超临界状态，从而降低清洗质量。

发明内容

本发明提供了一种超临界二氧化碳清洗精密零部件装置，为了解决传统清洗中高纯水浪费，废液污染环境，盲孔及狭缝清洗效果不佳，清洗后干燥零件等问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：清洗装置包括磁力驱动装置1、清洗釜2、料框3、超声波换能器辅助结构4、换能器5，其中所述清洗釜2包括筒体207、椭圆封头205、平盖封头208、进口管209、出口管210、电源线孔204、夹套206、压力表及安全防爆装置202、温度表203；所述超声波换能器辅助结构4包括换能器板401和换能器支撑板407；所述料框3包括料框支架301、料框托架302和螺母303。清洗釜2的平盖封头208与磁力驱动装置1相焊接，进口管209与出口管210位于平盖封头208内与清洗釜2连通，料框3与磁力驱动装置1的磁力驱动轴102连接，超声波换能器辅助结构4位于清洗釜2的椭圆封头205焊接处，换能器支撑板407与清洗釜2的筒体207焊接，换能器板401通过固定螺钉403与换能器支撑板407连接，换能器5安装于换能器板401上，且通过椭圆封头205的电源线孔204接通电源线。

所述清洗釜2上下部安装有平盖封头208和椭圆封头205，密封高压清洗釜2，平盖封头208通过螺栓201与筒体207连接，椭圆封头205与筒体207相焊接；所述料框3是由料框支架301上的三个螺纹柱通过螺母303拧紧料框托架302组成的，料框托架302由三个窄不锈钢薄板焊接而成，薄板上开有深槽，用于安装和移动零件夹具；所述换能器板401包括换能器孔402、放气孔406和均压孔404，换能器孔402安装换能器5，放气孔406注入硅油，拧紧螺栓密封，均压孔404压入橡胶垫片，由压紧螺钉405压住橡胶垫片，其中换能器5数量为6个，在换能器板401上圆周均匀分布，可将超声波的振荡作用扩散到上部的每个角落，确保振荡无死角，保证超临界二氧化碳在工作压力小时仍有良好清洗效果，而放气孔406为了保证清洗釜2下部没有空气存留而注满硅油，均压孔404是为了通过由放气孔406注满的硅油使得橡胶垫片内外部压力相同，从而保证换能器板401下部空间和上部空间压力相同，而不会损坏换能器；所述换能器支撑板407为圆环形薄不锈钢板，焊接于清洗釜壁上，开有六个螺钉孔安装固定螺钉403，用于固定换能器板和防止硅油泄漏；所述清洗釜2的电源线孔204方便引出换能器电源线，利用耐高温高压环氧树脂进行密封，安全可靠，而不会过多占用内部空间；所述夹套206为薄不锈钢板折弯而成，焊接于筒体207外部，内部通入导热油或者循环水，用于对超临界二氧化碳加热；所述磁力驱动装置1不需内置电动机103，电动机103安装在外部，由磁力驱动轴102连接料框3，使料框3旋转，可节省清洗釜2的使用空间；压力表及安全防爆装置202、温度表203为数字显示仪表，起到掌握内部二氧化碳流体状态的作用。