[发明专利]一种轧制加工高纯度、高致密度钼合金靶材的方法

权利要求书

1.一种轧制加工高纯度、高致密度钼合金靶材的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

（1）混粉：将Mo粉与金属族群Nb、Ta、W、Cr、Ti、Zr、Hf、V、Co中的至少一种金属元素按比例称量后，用混料机混合均匀，Mo与添加元素的重量比例范围在99：1~40：60之间； 

（2）压块：将混合均匀的粉料通过冷等静压或油压机模压成块，压力100～200MPa；

（3）预烧还原：将压坯在流动氢气气氛烧结炉内进行预烧还原，预烧温度1200～1300℃，保温时间2～8h；

（4）真空处理：将预烧还原的坯料在真空炉内进行真空处理，要求真空炉真空度达到1×10^-3Pa，真空处理温度1500～1800℃；

（5）整形：将真空处理后坯料用铣床进行整形加工，整型成合适的尺寸，要求表面粗糙度不大于Ra 12.5；

（6）热等静压用包套加工：选用不锈钢、碳钢或钛作为包套材料，按图纸加工成所需形状尺寸，然后用氩弧焊机或等离子焊机焊接包套体；

（7）包套装料：将整形加工后预烧坯料装入热等静压用包套，要求任意一侧包套内壁跟与之相邻的坯料之间的间隙不大于1.5mm；

（8）包套脱气封焊：脱气温度400～600℃，真空度达1×10^-2Pa后，用氩弧焊机或等离子焊机将包套封焊；

（9）热等静压处理：将脱气封焊后包套放入热等静压炉内进行热等静压处理，处理温度700～1500℃，压力100～200MPa，保温保压时间2～6h；

（10）轧制：经过热等静压处理后的坯料，带包套进行轧制加工，轧制时坯料加热温度1100～1350℃，保温时间10～60分钟；

（11）热处理：轧制坯料冷却后，将外层包套材料加工掉，然后放入氢气保护的加热炉内进行热处理，热处理温度950℃~1250℃，保温1h~8h；

（12）加工成品：轧制后带包套坯料经铣、磨机械加工，制备成品。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（10）的坯料轧制采用2~6次加热，每次加热后轧制一道次的工艺，单道次轧制变形量控制在20%～35%之间。

3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（10）的坯料轧制选交叉轧制，即某一个道次或几个道次轧制的轧制方向与其它道次的轧制方向相互垂直。