[发明专利]一种基于Agent的分布式智能光刻设备

说明书

技术领域

本发明是涉及嵌入式智能光刻设备，特别是涉及一种基于Agent的分布式智能光刻设备，属于超大规模集成电路制造及光学微细加工技术中的纳米器件制造技术领域。

背景技术

微电子产业现已成为影响国民收入，国防安全的重要因素。微电子芯片制作过程中最重要的一个环节即光刻流程，该流程由匀胶，曝光，显影三个大步骤组成，各步骤按次序依次进行，每一步的技术参数都会影响到最后的光刻结果，且每一步的技术参数会制约或受制于其他各步的技术参数选取，所以技术参数的合理选取就成为一个极为重要的课题。

有介于此，每一代微电子生产线都需要花费几乎1/3的费用用于工艺参数的选取。现行的各种光刻设备完全独立，各光刻步骤独立进行，导致工艺参数的选取完全靠经验和摸索，整个过程浪费大量的人力、物力和财力，而且工艺参数的选取过程对操作人员的要求极高；

另外，若更换光刻技术，以前的技术参数将全部失效，操作人员需要花费很多的人力进行实验，摸索出符合新技术的工艺参数，整个过程费时长，且无法保证最后得到的结果最佳，严重影响光刻的效率和效果。

发明内容

本发明技术解决问题：克服现有技术高成本和低效率的缺点，提供一种基于Agent的分布式智能光刻设备，该设备能有效避免各光刻步骤之间的相互影响和制约，保证最佳光刻效果，使光刻效果稳定，实现新技术的参数指标快速匹配，数据共享，资源利用最大化，而且该设备智能化程度高，使用起来非常方便快捷。

本发明技术解决方案：一种基于Agent的分布式智能光刻设备，包括：嵌入式设备、WIFI、本地工作站和多个光刻设备；嵌入式设备通过因特网远程访问技术和局域网数据传输技术两个系统并行执行，互补地完成技术参数匹配任务；

所述技术参数匹配过程为：

步骤S01：本地工作站通过因特网远程访问技术得到更新的数据库和参数模型；

步骤S02：本地工作站通过WIFI将更新的工艺参数模型传输至嵌入式设备并自动加载到程序；

步骤S03：嵌入式设备运行更新的工艺参数模型，通过局域网数据传输技术对各光刻设备的光刻步骤进行实时参数匹配；

步骤S04：将匹配参数实时地传输至分布在各光刻设备中的嵌入式设备；

步骤S05：嵌入式设备根据接收到的数据对各光刻设备进行相应的实时操作。

所述步骤S01中因特网远程访问技术步骤如下：

（1.1）用户填写嵌入式设备中自带的新技术参数指标表格；

（1.2）由嵌入式设备内置的算法将填写的数据表格自动生成基本参数数据指标；

（1.3）通过WIFI传输至本地工作站，并在其中进行搜索；

（1.4）如果存在匹配的工艺参数，转到（1.7），否则，本地工作站会通过因特网自动链接至远端服务器，并将生成的基本参数数据指标传输给远程服务器；

（1.5）远程服务器将接收到的数据整理成检索数据库需要的参数，按照参数进行数据检索；

（1.6）将检索出的数据整理为传输数据，通过因特网将数据传输至本地工作站；

（1.7）本地工作站通过WIFI将数据传输至分布在各种机器中的嵌入式设备，该嵌入式设备将接收到的数据自动加载到程序中，通过运行更新的程序实现对光刻的控制。

所述步骤S03中局域网数据传输技术步骤如下：

（3.1）系统启动，本地工作站和该嵌入式设备初始化，之后在整个运行过程中该嵌入式设备上的传感器实时地对机器的运行参数进行检测；

（3.2）内置到该嵌入式设备上的整合算法将大量实时检测到的参数进行分析和整理，将其整理为关键参数；

（3.3）将关键参数通过WIFI传输至本地工作站；

（3.4）本地工作站根据关键参数，利用数据检索进行参数匹配，若本地技术参数库中不存在该参数的匹配值，则首先访问远端服务器进行参数检索，若远端服务器中也不存在该参数的匹配，则本地工作站利用内置的插值算法对参数进行匹配，给出建议值；

（3.5）本地工作站将得到的最终匹配参数整理为传输数据，通过WIFI将数据传输至分布在各机器中的嵌入式设备；

（3.6）该嵌入式设备将接收到的数据整合到程序中，程序向各硬件发出动作指令，实现对个机器的控制；

其中，该设备的硬件设计包括：

a)微处理器内置Linux操作系统，与核心板总线双向传输；

b)可选配7寸的四线电阻触摸屏，与功能板总线双向传输；

c)配置标准串口一个，用于程序调试，与功能板总线双向传输；