[发明专利]一种线性蒸发源

权利要求书

1.一种线性蒸发源，用于大面积制造平板显示器和照明面板，其特征在于：包括线性蒸发源的主体(3)及设置于线性蒸发源的主体上方的盖板，所述主体(3)一体成型；在所述主体(3)内部两端对称开设有凹槽(2)、所述凹槽内设有蒸发元件构成蒸发单元；所述两个凹槽(2)之间位于主体(3)下方设有加热元件(1)；所述盖板上开设有一排通孔(5)构成喷嘴，所述盖板与所述主体间螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于：所述凹槽(2)宽度为所述主体(3)宽度的1/8-1/5。

3.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于：所述凹槽为石英槽，其内设有蒸发元件构成蒸发单元。

4.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于：所述加热元件(1)为电热丝加热器，所述电热丝加热器与上方的主体抵触。

5.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于：所述主体(3)两端开设有螺孔(4)，与所述螺孔对应在所述盖板上也开设有螺孔，与所述螺孔配合还设有螺栓，所述主体与盖板间经螺栓及螺孔连接构成所述的螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于：所述通孔(5)孔径为0.5-5mm，所述通孔长度占盖板长度的2/5-4/5，在所述通孔上方还设有挡板。

7.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于：所述通孔下端与所述主体上端（7）间的距离1-3cm。

8.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于：所述主体(3)及盖板外部设有保温板(8)。

9.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于：所述主体下方还设有水冷机构。