[发明专利]一种多功能半导体样品夹具

权利要求书

1.一种多功能半导体样品夹具，应用于测试工艺中半导体样品的固定，其特征在于，所述夹具包括承载主体；

所述承载主体上设置有凹槽和固定装置，所述固定装置固定所述半导体样品于所述凹槽中。

2.如权利要求1所述的多功能半导体样品夹具，其特征在于，所述承载主体还设置有至少三个挡板和一个底板，所述挡板均固定设置于所述底板的上表面；

所述凹槽由相邻的两个所述挡板与该两挡板之间的底板共同构成。

3.如权利要求2所述的多功能半导体样品夹具，其特征在于，所述固定装置包括导向轨道、滑块和固定螺杆；

所述导向轨道设置于所述凹槽底部的上表面，且该导向轨道的导向方向垂直于构成该凹槽的挡板；

所述滑块通过所述导向轨道垂直于挡板往复运动，所述固定螺杆固定所述滑块于所述导向轨道上。

4.如权利要求3所述的多功能半导体样品夹具，其特征在于，所述滑块底部设有与所述导向轨道相配的导向结构。

5.如权利要求4所述的多功能半导体样品夹具，其特征在于，所述挡板中最外侧的两个所述挡板中央处设有贯通的螺纹孔，所述螺纹孔的开孔方向与所述凹槽的底面平行，且与所述导向轨道的导向方向平行。

6.如权利要求5所述的多功能半导体样品夹具，其特征在于，所述滑块与所述固定螺杆之间采用螺纹连接进行固定。

7.如权利要求1所述的多功能半导体样品夹具，其特征在于，所述夹具还包括一底座，所述承载装置通过底座设置于离子束/电子束的双束系统平台上。

8.如权利要求1所述的多功能半导体样品夹具，其特征在于，所述凹槽的深度不大于所述样品的厚度，且所述承载主体的总厚度不大于所述样品厚度的1.5倍。

9.如权利要求1所述的多功能半导体样品夹具，其特征在于，所述夹具采用金属材料制成。