[发明专利]阵列基板及其制作方法、平板显示装置有效
申请号: | 201310253734.6 | 申请日: | 2013-06-24 |
公开(公告)号: | CN103337501A | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 柴立 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 何青瓦 |
地址: | 518000 广东省深圳市光明新区公*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 及其 制作方法 平板 显示装置 | ||
技术领域
本发明涉及平板显示技术领域,特别是涉及一种阵列基板,还涉及一种阵列基板的制作方法,另外涉及一种平板显示装置。
背景技术
人们对显示设备的需求日益增长,平板显示得以广泛普及,因此也带动了LCD(Liquid Crystal Display,液晶显示)、OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)等行业的快速发展。
阵列基板是显示面板的重要组成部分,其具有有效显示区(简称AA区,Active Area)以及环绕有效显示区的非有效显示区,有效显示区内具有信号线:扫描线和数据线,非有效显示区具有呈扇形分布的扇出引线,信号线与扇出引线对应连接,并通过扇出引线与外围的芯片连接。由于各扇出引线的长度并不相等,那么在扇出引线线宽相等的情况下,位于扇形中部的扇出引线的阻抗小于位于扇形边缘的扇出引线的阻抗,造成芯片输出的信号在到达信号线时不能保持同步,会造成显示不均匀现象。
请结合参见图1和图2,图1是现有技术一种扇形引线的结构示意图。图1中仅示意了三条扇出引线。扇出引线11、扇出引线12和扇出引线13呈扇形分布,扇出引线12位于扇形中心,扇出引线11和扇出引线13位于扇形边缘。扇形引线11和扇出引线13的长度相等。扇出引线12采用弯曲绕线的方式,增加了有效长度,与扇形引线11和扇出引线13的长度保持一致。图2是图1所示的扇出引线12的A-A′方向的剖视示意图。扇出引线12在依次层叠的第一金属层121、绝缘层122、第二金属层123和钝化层124上采用阵列制程得到。由于第一金属层121和第二金属层123相互绝缘,在输入信号时,第一金属层121和第二金属层123等效于两个并联的电阻。扇出引线11和扇出引线13与扇出引线12的内部结构相同。
由于各扇出引线的结构相同,长度也保持一致,因此扇出引线11、扇出引线12和扇出引线13的阻抗相等。但是,由于现有技术的工艺与制程的限制,扇出引线12的绕线部分会比较疏散,导致扇出引线12的高度增加,非有效显示区占用的面积将增大,因此不利于显示面板的窄边框设计,降低了阵列基板的利用率。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种阵列基板及其制作方法、平板显示装置,能够使各扇出引线在长度不等的情况下阻抗保持一致。
为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是:提供一种阵列基板,包含有效显示区和环绕有效显示区的非有效显示区,非有效显示区内具有呈扇形分布的多条扇出引线,每一扇出引线具有预定长度,多条扇出引线的预定长度沿扇形的中心向边缘的方向逐渐递增,任一扇出引线包括:预定数目的第一金属条状部,位于玻璃基板上,预定数目的第一金属条状部沿扇出引线的延伸方向间隔设置,且每一第一金属条状部的长度小于或等于预定长度;绝缘层,覆盖每一第一金属条状部,且绝缘层覆盖每一第一金属条状部的位置设有第一过孔和第二过孔;第二金属条状部,位于绝缘层上,并通过第一过孔和第二过孔与每一第一金属条状部接触,第二金属条状部的长度等于预定长度;其中,多条扇出引线的第一金属条状部的长度沿扇形的中心向边缘的方向逐渐递增且预定数目沿该方向逐渐递减,以使各扇出引线的阻抗保持一致。
其中,任一扇出引线还包括钝化层,钝化层覆盖第二金属条状部。
其中,每一第一金属条状部的长度相等。
其中,每一第一金属条状部间隔的距离相等。
其中,每一扇出引线的线宽相等。
为解决上述技术问题,本发明采用的另一个技术方案是:提供一种阵列基板的制作方法,制作方法包括:在玻璃基板上形成第一金属层,将第一金属层制成呈扇形分布的多条第一金属线,其中,每一第一金属线包括预定数目的第一金属条状部,每一第一金属条状部间隔设置,多条第一金属线的第一金属条状部的长度沿扇形的中心向边缘的方向递增且预定数目沿该方向递减;在多条金属线上形成绝缘层,在绝缘层覆盖每一第一金属条状部的位置形成第一过孔和第二过孔;在绝缘层上形成第二金属层,将第二金属层制成多条第二金属条状部,其中,每一第二金属条状部通过第一过孔和第二过孔与每一第一金属线的第一金属条状部接触,并且第二金属条状部的长度大于或等于第一金属条状部。
其中,制作方法还包括:在多条第二金属条状部上形成钝化层。
其中,每一第一金属线的各第一金属条状部的长度相等。
其中,每一第一金属条状部间隔的距离相等。
为解决上述技术问题,本发明采用的另一个技术方案是:提供一种平板显示装置,平板显示装置包括上述任一种的阵列基板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的