[发明专利]一种用于线性运动导螺杆和螺母总成中螺母和螺丝自动对准的悬置轴环夹持装置

权利要求书

1.一种带有至少一个处理室的进行基底处理的处理系统，所述至少一个处理室具有基底支撑部件，包括：

导螺杆；以及

当所述导螺杆转动时移动所述基底支撑部件的装置，其至少包括

螺母，

螺母架，

悬置轴环，和

带肩螺丝，其中所述带肩螺丝被设置成穿插过所述螺母架的螺母架孔和所述螺母的螺母孔，以至少部分安置在所述悬置轴环里，其中所述螺母架孔的尺寸大于所述带肩螺丝的横断面尺寸，以使所述带肩螺丝能够在所述螺母架孔中运动，从而保持所述移动装置与所述导螺杆之间的同心关系。

2.根据权利要求1所述的处理系统，其中所述导螺杆与电机耦合，其中所述电机在其发动时，能带动所述导螺杆转动。

3.根据权利要求1所述的处理系统，其中所述螺母是螺纹螺母。

4.根据权利要求1所述的处理系统，其中所述螺母包括螺母体和螺母法兰，其中所述螺母法兰位于所述螺母体的上面，并且其直径大于所述螺母体的直径。

5.根据权利要求4所述的处理系统，其中所述悬置轴环设置成环绕所述螺母体，并布置在所述螺母法兰下面。

6.根据权利要求5所述的处理系统，其中所述悬置轴环设置成包含位于螺母法兰表面位置的一对增高固定器件，其中所述增高固定器件对中的每一个增高固定器件插入所述螺母法兰中设置的螺母法兰孔里，其中所述螺母法兰孔的尺寸大于所述增高固定器件的横断面尺寸，当所述导螺杆转动时，所述增高固定器件就能够在所述螺母法兰孔中运动，以调节所述移动装置，从而保持所述移动装置与所述导螺杆之间的所述同心关系。

7.根据权利要求5所述的处理系统，其中所述移动装置包括位于所述螺母法兰和所述悬置轴环之间的转接环，其中位于所述悬置轴环上面的螺母法兰表面位置的一对增高固定器件插入所述转接环里设置的一对转接环孔中，其中所述转接环孔对中的每一个转接环孔的尺寸大于所述增高固定器件对中的每一个增高固定器件的横断面尺寸，当所述导螺杆转动时，所述增高固定器件就能够在所述环孔中运动，以调节所述的移动装置，从而保持所述移动装置与所述导螺杆之间的所述同心关系。

8.根据权利要求4所述的处理系统，其中所述悬置轴环设置成包含位于螺母法兰表面位置的一对增高固定器件，其中所述增高固定器件对中的每一个增高固定器件插入所述螺母法兰中设置的螺母法兰孔里，其中所述螺母法兰孔的尺寸大于所述增高固定器件的横断面尺寸，当所述导螺杆转动时，所述增高固定器件就能够在所述螺母法兰孔中运动，以调节所述移动装置，从而保持所述移动装置与所述导螺杆之间的所述同心关系。

9.根据权利要求4所述的处理系统，其中所述移动装置包含位于所述螺母法兰和所述悬置轴环之间的转接环，其中位于所述悬置轴环上面的螺母法兰表面位置的一对增高固定器件插入所述转接环里设置的一对转接环孔中，其中所述转接环孔对中的每一个转接环孔的尺寸大于所述增高固定器件对中的每一个增高固定器件的横断面尺寸，当所述导螺杆转动时，所述增高固定器件就能够在所述环孔中运动，以调节所述的移动装置，从而保持所述移动装置与所述导螺杆之间的所述同心关系。

10.根据权利要求1所述的处理系统，还包括支撑板，其中所述螺母架是所述支撑板的一部分，其中所述支撑板设置成与处理系统的处理室中的下电极耦合，所述支撑板设置成在基底处理过程中至少方便所述下电极的垂直调节。