[发明专利]光学集成电路有效
| 申请号： | 201310258082.5 | 申请日： | 2013-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN103513331B | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 金圣九;申东宰;申庸确;崔英;河镜虎 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/42 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 弋桂芬 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 集成电路 | ||
1.一种光学集成电路，包括：
基板，包括单晶半导体材料；
无源元件，在所述基板的<100>晶向上延伸并且由所述单晶半导体材料形成；以及
有源元件，在所述基板的<110>晶向上延伸并且由所述单晶半导体材料形成。
2.如权利要求1所述的光学集成电路，其中所述无源元件包括光波导，以及
其中所述有源元件包括连接到所述光波导的移相器。
3.如权利要求2所述的光学集成电路，其中所述光波导包括：
第一芯，包括所述单晶半导体材料并且在所述基板的所述<100>晶向上延伸；以及
第一包覆层，具有比所述第一芯的折射率低的折射率并且围绕所述第一芯；
和其中所述移相器包括，
连接到所述第一芯的第二芯，包括所述单晶半导体材料并且在所述<110>晶向上延伸；
第二包覆层，具有比所述第二芯的折射率低的折射率并且围绕所述第二芯；以及
电连接到所述第二芯的电极。
4.如权利要求2所述的光学集成电路，其中所述无源元件还包括连接到所述光波导的光耦合器。
5.如权利要求2所述的光学集成电路，其中所述光波导包括第一波导和第二波导，以及
其中所述第一波导连接到所述移相器。
6.如权利要求1所述的光学集成电路，其中所述基板是(100)硅晶片或者(110)硅晶片。
7.一种光学集成电路，包括：
基板，包括单晶半导体材料；
无源元件，在所述基板上沿平行于所述基板的顶表面的第一方向延伸；以及
有源元件，在所述基板上沿第二方向延伸，该第二方向与所述第一方向成锐角，
其中所述无源元件配置为使得光在所述第一方向上穿过所述无源元件，
其中所述第一方向平行于所述基板的<100>晶向，以及
其中所述第二方向平行于所述基板的<110>晶向。
8.如权利要求7所述的光学集成电路，其中所述无源元件包括光波导，该光波导包括：
第一芯，包括所述单晶半导体材料并且在所述第一方向上延伸；以及
第一包覆层，具有比所述第一芯的折射率低的折射率并且围绕所述第一芯；
以及其中所述有源元件包括移相器，该移相器包括，
连接到所述第一芯的第二芯，包括所述单晶半导体材料并且在所述第二方向上延伸；
第二包覆层，具有比所述第二芯的折射率低的折射率并且围绕所述第二芯；以及
电连接到所述第二芯的电极。
9.一种光学集成电路，包括：
基板，具有<100>晶向和<110>晶向；
无源元件，在所述<100>晶向上延伸并且包括单晶半导体材料；以及
有源元件，在所述<110>晶向上延伸并且包括所述单晶半导体材料，
其中所述无源元件配置为使得光在所述无源元件延伸的方向上穿过所述无源元件。
10.如权利要求9所述的光学集成电路，其中所述无源元件包括光波导。
11.如权利要求9所述的光学集成电路, 其中所述无源元件包括光耦合器。
12.如权利要求9所述的光学集成电路，其中所述无源元件包括干涉仪。
13.如权利要求9所述的光学集成电路，其中所述有源元件包括移相器。
14.如权利要求9所述的光学集成电路，其中所述无源元件包括光波导，以及
其中所述无源元件还包括连接到所述光波导的光耦合器。
15.如权利要求9所述的光学集成电路，其中所述无源元件包括光波导，以及
其中所述有源元件包括连接到所述光波导的移相器。
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