[发明专利]热电冷却模块及其制造方法

权利要求书

1.一种热电冷却模块，包括：

第一基板和第二基板，所述第一基板和所述第二基板上形成有金属电极并且所述第一基板和所述第二基板彼此相对；以及

多个热电元件，形成在所述第一基板和所述第二基板之间，

其中，所述第一基板和所述第二基板包括彼此相对的铝层以及在所述铝层的每个表面的一部分中形成的氧化铝层。

2.根据权利要求1所述的模块，其中，所述氧化铝层的厚度在30μm至200μm的范围内。

3.根据权利要求1所述的模块，其中，所述氧化铝层的面积在所述铝层的面积的5%至50%的范围内。

4.根据权利要求1所述的模块，其中，形成在所述第一基板和所述第二基板上的每个氧化铝层的面积彼此相同。

5.根据权利要求1所述的模块，其中，所述金属电极是由选自包括Cu、Au、Ag、Ni、Al、Cr、Ru、Re、Pb、Sn、In和Zn或它们的合金的组的至少一种金属构成的。

6.根据权利要求1所述的模块，进一步包括形成在所述金属电极与所述热电元件之间的扩散阻挡层。

7.一种热电冷却模块的制造方法，所述方法包括：

通过在铝层的每一个表面的一部分中形成氧化铝层来形成第一基板和第二基板；

在所述第一基板和所述第二基板上形成的所述氧化铝层上形成金属电极；以及

通过所述金属电极来电性连接多个热电元件。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，执行形成所述氧化铝层，使得所述氧化铝层的厚度在30μm至200μm的范围内。

9.根据权利要求7所述的方法，其中，执行形成所述氧化铝层，使得所述氧化铝层的面积在所述铝层的面积的5%至50%的范围内。

10.根据权利要求7所述的方法，其中，形成在所述第一基板和所述第二基板上的所述氧化铝层的面积彼此相同。

11.根据权利要求7所述的方法，其中，形成所述氧化铝层是通过阳极氧化方法来实现的。