[发明专利]一种温度连续可调的喷淋头

权利要求书

1.一种温度连续可调的喷淋头，用于进行金属有机化学沉积反应，包括：

进气单元，用于与输送外部反应气体并贮存反应气体；

反应室上盖，用于向反应室内导入反应气体；

连接于进气单元和反应室上盖的喷淋管；

其特征在于，还包括：

调温盘组件，调温盘组件包括调温盘及分设两边的入口通道和出口通道，调温盘内设有供冷却介质流通的空腔，相对密封的空腔与入口通道和出口通道与空腔连通，调温盘上还对应喷淋管设有通孔，喷淋管穿插于通孔中，高温盘可上下移动连接于反应室上盖和进气单元之间；

位移装置，用于调节调温盘组件上下移动。

2.根据权利要求1所述的喷淋头，其特征在于，所述调温盘的空腔包括外腔体和内腔体，其中外腔体分设于调温盘的两侧，分别与入口通道和出口通道连接，内腔体与外腔体内设有连接孔，所述喷淋管的通孔孔壁设于内腔体的区域内。

3.根据权利要求2所述的喷淋头，其特征在于，所述内腔体与外腔体内所设的连接孔各有两个，分别设于入口通道和出口通道连接于外腔体位置的两侧。

4.根据权利要求3所述的喷淋头，其特征在于，所述调温盘中的冷却介质是水或耐热油。

5.根据权利要求1所述的喷淋头，其特征在于，所述位移装置包括电机和与之连接的丝杆，电机与反应腔顶部连接，丝杆另一端连接于调温盘上。

6.根据权利要求1所述的喷淋头，其特征在于，所述位移装置包括电机和与之连接的丝杆，电机与进气单元底部连接，丝杆另一端连接于调温盘上。