[发明专利]光电二极管有效

专利信息
申请号: 201310259047.5 申请日: 2013-06-26
公开(公告)号: CN103325881A 公开(公告)日: 2013-09-25
发明(设计)人: 张云山 申请(专利权)人: 林大伟;张云山
主分类号: H01L31/103 分类号: H01L31/103;H01L31/0352
代理公司: 广东国欣律师事务所 44221 代理人: 姜胜攀
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 光电二极管
【权利要求书】:

1.一种光电二极管,其特征在于,包括:

一第一型基底,包含一上表面;

一第二型掺杂井,设置于该第一型基底内,该第一型基底与该第二型掺杂井相邻接面区域为一PN连接界面;

一第二型掺杂区,形成于该第二型掺杂井内,并且从该第二型掺杂井的表面延伸;

一隔离区域,形成于该第一型基底内,并且不接触该第二型掺杂井;

一保护层,形成于该第一型基底的上表面,并且覆盖该第二型掺杂区与该第二型掺杂井;以及

一接触导体,贯穿该保护层,并且包括一接触层与一导电条,其中该接触层形成于该导电条的一端,并且接触及连接该第二型掺杂区。

2.根据权利要求1所述的光电二极管,其特征在于,该第一型基底为一P型基底。

3.根据权利要求1所述的光电二极管,其特征在于,该第二型掺杂井为一相对低浓度掺杂,该第二型掺杂区为一相对高浓度掺杂。

4.根据权利要求1所述的光电二极管,其特征在于,该接触层为一金属硅化层。

5.根据权利要求1所述的光电二极管,其特征在于,该隔离区域为氮化硅或氧化硅。

6.根据权利要求1所述的光电二极管,其特征在于,该隔离区域为局部氧化层、浅沟槽隔离层或场氧化层。

7.根据权利要求1所述的光电二极管,其特征在于,该保护层包含一透明导电氧化物层与一多晶硅层,该透明导电氧化物层设置于该多晶硅层上方。

8.根据权利要求7所述的光电二极管,其特征在于,该多晶硅层厚度为0.1um。

9.根据权利要求7所述的光电二极管,其特征在于,该多晶硅层电连接于该第一型基底。

10.根据权利要求1所述的光电二极管,其特征在于,该接触导体为一接触插塞。

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