[发明专利]具有通过保护帽进行信号路由的微机电设备及控制微机电设备的方法

权利要求书

1.一种微机电设备，包括：

主体(4；104；204；304)，包括微机电结构(8、10；108；208、210；308)，所述微机电结构包括多个输出端子，所述多个输出端子被配置成提供相应的输出信号；

导电键合区域；

帽(5；105；205；305)，通过所述导电键合区域(7；207；307)键合至所述主体(4；104；204；304)并且电耦合至所述微机电结构(8,10；108；208；308)；

所述帽(5；105；205；305)包括：

选择模块(13；213；313)，所述选择模块(13；213；313)具有：

耦合至所述微机电结构(8、10；108；208、210；308)的所述多个输出端子中的相应输出端子的第一选择端子(13a)，

第二选择端子(13b)，以及

控制端子(13c)，被配置成根据对应于相应运行状况的多个耦合配置之一将所述第一选择端子中的第一选择端子选择性地耦合至所述第二选择端子(13b)。

2.根据权利要求1所述的微机电设备，其中所述选择模块(13；213；313)包括多个开关(21,21’,21”)，所述多个开关(21,21’,21”)具有耦合至相应第一选择端子(13a、13a’、13a”)的第一导电端子以及耦合至相应的第二选择端子(13b、13b’、13b”)的第二导电端子。

3.根据权利要求2所述的微机电设备，包括被配置成确定每个开关(21、21’、21”)的状态的驱动部件(14；214；314)。

4.根据权利要求3所述的微机电设备，包括被配置成向所述驱动部件(14；214；314)提供至少时钟信号(CK1,…,CKM,CK1,CK2；CK)的控制设备(3)。

5.根据权利要求4所述的微机电设备，其中所述驱动部件(14；214；314)被配置成接收所述时钟信号(CK1,…,CKM,CK1,CK2；CK)并且根据所述时钟信号(CK1,…,CKM,CK1,CK2；CK)确定每个开关(21、21’、21”)的状态。

6.根据权利要求1所述的微机电设备，包括：

接触焊盘(20；220；320)，布置在所述帽(5；105；205；305)的表面(18b；218b；318b)上，并且耦合至所述选择模块(13；213；313)的所述第二选择端子(13b、13b’、13b”)。

7.根据权利要求6所述的微机电设备，包括：

通孔(17；217；317)，通过所述帽(5；105；205；305)将所述焊盘(20；220；320)连接至所述选择模块(13；213；313)。

8.根据权利要求7所述的微机电设备，其中所述帽(5；105；205；305)包括将所述选择模块(13；213；313)的所述第一选择端子(13a、13a’、13a”)连接至所述微机电结构(8,10；108；208，210；308)的路由结构(15；215；315)。

9.根据权利要求8所述的微机电设备，其中所述路由结构(15；215；315)通过相应通孔(17；217；317)将所述选择模块(13；213；313)的所述第二选择端子(13b、13b’、13b”)耦合至所述焊盘(20；220；320)。

10.一种电子系统，包括控制单元(410)和根据前述权利要求中的任意一项所述的微机电设备(1)，所述微机电设备(1)耦合至所述控制单元(410)。