[发明专利]感应耦合等离子体装置、分光分析装置以及质量分析装置

权利要求书

1.一种感应耦合等离子体装置，其特征在于，该感应耦合等离子体装置具有：

导入试样的试样导入部，

等离子体炬，其为由载气用的内管、辅助气体用的中间管以及等离子气体用的外管构成的同心的三重管结构，在一端部具有所述内管的气体导入部、所述中间管的气体导入部以及所述外管的气体导入部，另一端部为开口状态；

圆筒形状的罩，其与所述等离子体炬是分离的，具有足够包围到生成的等离子体火焰的前端部的高度，且该罩被配置成间隔开规定的距离地外嵌在所述等离子体炬上；

感应线圈，其以包围所述等离子体火焰形成的、在所述等离子体炬的开口端附近的等离子体生成区域的方式，外嵌地配置在所述罩上；

气体控制部，其控制所述载气、所述辅助气体以及所述等离子气体；以及

校正气体导入机构，其将用于校正所述等离子气体的流路的校正气体导入到在所述罩的内表面和所述外管的外表面之间形成的间隙部，

所述罩在被支撑在基底部上的开口端部的圆周上的一部分，具有连通其圆筒的内外部的槽，其中，所述基底部支撑固定所述罩，

所述基底部在与所述罩的固定侧的圆筒端部相接的线上的一部分具有能够与所述槽吻合的凸部，该凸部成为配置时的基准。

2.根据权利要求1所述的感应耦合等离子体装置，其中，

所述校正气体导入机构具有喷出所述校正气体的毛细管，

该毛细管的喷出侧端部配置为朝向所述罩的固定侧端部的所述间隙部。

3.根据权利要求2所述的感应耦合等离子体装置，其中，

所述罩在被支撑在基底部上的开口端部的圆周上的一部分，具有连通其圆筒的内外部的槽，其中，所述基底部支撑固定所述罩，

所述毛细管的喷出侧端部从所述罩的固定侧的端部侧面朝向所述槽。

4.根据权利要求1所述的感应耦合等离子体装置，其中，

所述校正气体导入机构具有所述校正气体用的流路，

所述校正气体用的流路沿着所述等离子体炬的气体导入部侧的所述间隙部的一部分或者全部而配置，且沿着该间隙部的部分的一部分或者全部为开口状态。

5.根据权利要求2所述的感应耦合等离子体装置，其中，

所述毛细管使导入所述校正气体的一侧的端部与从所述气体控制部的连接到所述外管的气体流路的中途分支的气体流路连接，使得所述校正气体与所述等离子气体的增减联动地增减。

6.根据权利要求4所述的感应耦合等离子体装置，其中，

所述校正气体用的流路使导入所述校正气体的一侧的端部与从所述气体控制部的连接到所述外管的气体流路的中途分支的气体流路连接，使得所述校正气体与所述等离子气体的增减联动地增减。

7.根据权利要求2所述的感应耦合等离子体装置，其中，

所述毛细管具有与所述等离子气体不同的气体控制部，所述校正气体与所述等离子气体是不同的气体。

8.根据权利要求4所述的感应耦合等离子体装置，其中，

所述校正气体用的流路具有与所述等离子气体不同的气体控制部，所述校正气体与所述等离子气体是不同的气体。

9.根据权利要求1所述的感应耦合等离子体装置，其中，

所述罩在与固定到支撑固定所述罩的基底部的固定侧相反的一侧的端部或其附近，具有一个或者多个用于测光的槽或者孔。

10.一种分光分析装置，其中，

该分光分析装置具有权利要求1所述的感应耦合等离子体装置。

11.一种质量分析装置，其中，

该质量分析装置具有权利要求1所述的感应耦合等离子体装置。