[发明专利]一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，用真空泵将反应腔抽到20hPa以下的低真空并加热到100～200℃，再用纯度为5N的高纯氮清洗反应腔；

步骤二，将衬底在高纯去离子水中超声清洗10-30分钟，用高纯氮枪吹干，保持玻璃衬底有清洁的表面；

步骤三，将前驱体四（二甲氨基）钛通入反应腔脉冲时间3秒，清洗四（二甲氨基）钛的脉冲时间为8秒；然后通入4秒的水蒸汽脉冲，再用10秒脉冲时间清洗掉多余的水蒸汽，至此完成一个循环的氧化钛的沉积；

步骤四，将前驱体二乙基锌通入2秒脉冲时间，清洗脉冲时间为6秒；通入水蒸汽脉冲4秒，清洗脉冲时间10秒，至此完成一个循环的氧化锌的沉积；

步骤五，多个沉积氧化钛的循环和1个沉积氧化锌的循环组成一个大循环，在完成多个大循环后即完成氧化锌掺杂氧化钛薄膜沉积过程，然后在450℃的温度下退火2小时。

2.根据权利要求1所述一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，步骤二所述的衬底为玻璃、陶瓷、金属、高分子聚合物中的一种。

3.根据权利要求1所述一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于, 步骤五所述多个沉积氧化钛的循环数为20-200，所述多个大循环为10-100。