[发明专利]氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器件及制备方法

权利要求书

1. 一种氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器件的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）将有机物模板溶于有机溶剂中，完全溶解后加入锌前驱体和0.5毫升至2.8 毫升的二乙醇胺，或三乙醇胺；然后在室温下至少搅拌3小时得到氧化锌前驱体溶液；

（2）按锡前驱体和锌前驱体摩尔比1:10～1:1称取锡前驱体，置于锌前驱体溶液中，搅拌2～4小时，得到锡-锌复合前驱体溶液；

（3）将前驱体溶液置于反应釜中，于80～200℃反应12小时至24小时；

（4）待反应釜温度降至室温，将乳白色悬浮液用酒精和水分别洗涤3～5次，得到氧化锡-氧化锌复合空心微球，将微球置于酒精或水中待用；

（5）氧化铝陶瓷管用去离子水、丙酮、氯仿清洗干净，烘干备用；

（6）将氧化锡-氧化锌复合空心微球的悬浮液均匀涂抹在步骤（4）的氧化铝陶瓷管上，将陶瓷管进行封装；

（7）在100～300℃下电老化3～15天，制成氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器件。

2. 根据权利要求1所述的氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器件的制备方法，其特征在于，步骤（1）中所述的有机物模板为三嵌段共聚物聚氧乙烯-聚氧丙烯-聚氧乙烯(P123)，或两嵌段共聚物聚苯乙烯-聚氧乙烯或十六烷基三甲基溴化铵。

3. 根据权利要求1所述的氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器件的制备方法，其特征在于，步骤（1）中所述的有机溶剂为无水乙醇、正丁醇、四氢呋喃中的一种或其组合。

4. 根据权利要求1所述的氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器件的制备方法，其特征在于，步骤（1）中所述的锌前驱体为二水乙酸锌、氯化锌、六水合硝酸锌、七水合硫酸锌中的一种。

5. 根据权利要求1所述的氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器件的制备方法，其特征在于，步骤（2）中所述的锡前驱体为氯化锡，或氯化亚锡。

6. 根据权利要求1所述的氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器件的制备方法，其特征在于，步骤（2）中所述的锌前驱体、有机物模板和有机溶剂的重量比为0.05～0.6:0.03～0.8:2～7。

7. 根据权利要求1所述的氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器件的制备方法，其特征在于， 步骤（4）所述的洗涤方法为在5000~15000转/分钟转速下离心或抽滤方法均可。

8. 根据权利要求1所述的氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器件的制备方法，其特征在于， 步骤（7）所述的老化氛围为空气。

9. 一种氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器件，其特征在于，根据上述任一项权利要求所述方法制备得到。