[发明专利]在粒子光学装置中准备和成像薄片的方法

权利要求书

1.一种通过使用粒子光学装置(100)来准备样品(101)并且对样品(101)进行成像的方法，粒子光学装置装备有

·电子柱(120)，其被固定在可抽真空样品室(102)上，电子柱被装备为产生电子束(122)，而电子束用于照射样品，

·拍摄系统(110)，其用于形成由穿过样品透射的电子(122’)引起的衍射图样的电子图像，

·操纵器(160)，其用于在样品室中关于电子束来定位样品，

该方法包括下列步骤：

·准备样品，

·在样品室中关于电子束来定位样品，

·通过使用电子柱来在拍摄系统上形成第一电子图像，以及

·根据所述第一电子图像导出样品的第一折叠写入图像，而折叠写入图像是迭代收敛过程的结果，在所述迭代收敛过程中形成样品的估计，

其特征在于：

·粒子光学装置包括固定在样品室上用于产生聚焦离子束(142)的聚焦离子束柱(140)，而聚焦离子束用于切削样品，

·准备样品牵涉关于离子束来定位样品以及通过使用聚集离子束来减薄样品，

·在形成第一电子图像之后，样品的层通过使用离子束来被移除，此后第二电子图像通过使用电子柱来被形成，并且

·样品的第二折叠写入图像通过使用第二电子图像来被导出，并且

·至少从样品通过用聚焦离子束减薄样品来被准备的时刻直到第二电子图像被采取的时刻，样品被保持在真空下。

2.根据权利要求1所述方法，在其中，

第一折叠写入图像或者在用于形成第一折叠写入图像的迭代过程中的除了第一推测之外的推测中的一个被用作种子图像，用于第二折叠写入图像的重构，从而缩短了根据第二电子图像形成第二折叠写入图像所需要的吞吐时间。

3.根据权利要求1所述方法，在其中，

计算机生成的图像被用作种子图像，用于第二折叠写入图像的重构，从而缩短了根据第二电子图像形成第二折叠写入图像所需要的吞吐时间。

4.根据权利要求1-3中任一项权利要求所述的方法，在其中，

通过使用第一和第二折叠写入图像或者通过使用第一和第二电子图像，移除层的重构的图像形成了所述移除层的折叠写入图像。

5.根据权利要求1-3中任一项权利要求所述的方法，在其中，

图像中的一个被用来确定薄片中的地方依赖的相位移动，并且根据其导出薄片的作为位置的函数的内电势，随后的步骤是导出掺杂剂浓度。

6.根据权利要求1-3中任一项权利要求所述的方法，在其中，

第二电子图像被用来确定端指出判定。

7.根据权利要求1-3中任一项权利要求所述的方法，在其中，

离子束是能够在样品之上被扫描的聚焦离子束。

8.根据权利要求1-3任一项权利要求所述的方法，在其中，

薄片的材料是半导体材料或在低温温度下的生物材料。

9.根据权利要求1-3中任一项权利要求所述的方法，在其中，

方法进一步包括：通过使用折叠写入重构来形成薄片的多个图像，多个图像随着薄片关于电子束以不同的取向来被形成，随后重构薄片的层析照片。