[发明专利]取晶机有效

专利信息
申请号: 201310265474.4 申请日: 2013-06-28
公开(公告)号: CN103311162A 公开(公告)日: 2013-09-18
发明(设计)人: 朱玉萍;岑刚 申请(专利权)人: 嘉兴景焱智能装备技术有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人: 翟羽;黄燕石
地址: 314100 浙江省嘉兴市嘉善*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 取晶机
【权利要求书】:

1.一种取晶机,包括取晶臂、垂直驱动装置和旋转驱动装置,所述垂直驱动装置驱动所述取晶臂上下运动,所述旋转驱动装置驱动所述取晶臂转动,其特征在于:所述旋转驱动装置设置在所述垂直驱动装置的下方,所述取晶臂设置在所述旋转驱动装置的下方,所述取晶臂通过一个长轴连接至所述垂直驱动装置,所述长轴的中间穿过所述旋转驱动装置的中空转轴。

2.根据权利要求1所述的取晶机,其特征在于:所述长轴为花键轴,所述旋转驱动装置的转轴为花键孔转轴。

3.根据权利要求1所述的取晶机,其特征在于:所述垂直驱动装置包括驱动电机及垂直传动部件,所述垂直传动部件将所述驱动电机的旋转运动转化为垂直运动传递给所述长轴。

4.根据权利要求3所述的取晶机,其特征在于:所述垂直传动部件为丝杆传动部件或凸轮传动部件。

5.根据权利要求2所述的取晶机,其特征在于:所述旋转驱动装置包括中空伺服电机,所述中空伺服电机的两端分别安装花键套。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的取晶机,其特征在于:在所述长轴上设置运动感应器,所述感应器电连接至所述取晶机的控制单元,所述感应器用于将所述长轴的垂直运动信息和旋转运动信息传递给所述控制单元。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的取晶机,其特征在于:所述取晶机还包括支架,所述支架为框形结构,所述旋转驱动装置设置在所述框形结构的开口内,所述垂直驱动部件设置于所述框形结构的上方。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的取晶机,其特征在于:在所述取晶臂的前端设置吸嘴。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的取晶机,其特征在于:所述取晶臂上开有多个通孔。 

10.根据权利要求1至5中任一项所述的取晶机,其特征在于:所述取晶臂的转动范围为0至180度,所述取晶臂的垂直运动范围为0至50mm。

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