[发明专利]一种侧向耦合平面波导光栅外腔激光器

权利要求书

1.一种外腔激光器，包括一个平面光波导芯片，该芯片包括一个管芯和一个波导，其特征在于：所述波导具有一个芯层，该芯层呈脊形，在所述波导的芯层两侧具有一个侧向耦合光栅。

2.如权利要求1所述的外腔激光器，其特征在于：所述管芯包括有源区、前腔面和后腔面，所述后腔面用于反射所述有源区激发的光波，所述前腔面用于传输该光波到所述波导中，所述波导的芯层耦合到该管芯的前腔面。

3.如权利要求2所述的外腔激光器，其特征在于：所述管芯还包括模斑尺寸变换结构，该模斑尺寸变换结构的宽度从有源区向前腔面逐渐变窄，形成梯形结构。

4.如权利要求1至3中任一项所述的外腔激光器，其特征在于：所述侧向耦合光栅是布拉格光栅。

5.如权利要求1至3中任一项所述的外腔激光器，其特征在于：所述侧向耦合光栅的光栅槽刻蚀深度与所述波导的芯层的刻蚀深度相同。

6.如权利要求1至3中任一项所述的外腔激光器，其特征在于：所述波导的传播方向相对于垂直于所述管芯的前腔面的方向的夹角为5°～10°。

7.如权利要求1至3中任一项所述的外腔激光器，其特征在于：所述侧向耦合光栅位于波导上距离所述管芯的前腔面1mm～10mm处。

8.如权利要求1至3中任一项所述的外腔激光器，其特征在于：所述侧向耦合光栅2.3的中心脊型波导宽度为2～8μm，侧向刻蚀宽度为0.5～2μm，光栅反射率为10～60％。

9.如权利要求1至3中任一项所述的外腔激光器，其特征在于：所述外腔激光器还包括热沉、散热器和热敏电阻，所述平面光波导芯片焊接在热沉上，该热沉焊接在散热器上，该散热器与热敏电阻电性连接组成控温系统。

10.如权利要求1至3中任一项所述的外腔激光器，其特征在于：所述外腔激光器还包括光纤，该光纤芯层与所述波导的芯层对准耦合，所述平面光波导芯片末端具有各向异性刻蚀的沟槽，用于容纳光纤。