[发明专利]抗蚀剂组合物的制造方法、过滤装置、抗蚀剂组合物的涂敷装置以及抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 201310268274.4 | 申请日： | 2006-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN103399467A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 室井雅昭;尾崎弘和 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;B01D61/14;B01D63/02;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 制造 方法 过滤 装置 以及 | ||
1.一种抗蚀剂组合物的制造方法，其特征在于，
具有：
向具备含有聚乙烯制的多孔性膜的中空丝膜的过滤器(f1)供给抗蚀剂组合物，使其通过所述多孔性膜的工序(I)，所述抗蚀剂组合物是将通过酸的作用使碱溶性增大的树脂成分(A)和通过曝光而产生酸的酸产生剂成分(B)溶解于有机溶剂(S)中而成。
2.根据权利要求1所述的抗蚀剂组合物的制造方法，其中，
所述多孔性膜的孔径为0.01μm以上0.2μm以下。
3.根据权利要求1或2所述的抗蚀剂组合物的制造方法，其中，
在所述工序(I)之前及/或之后，进一步具有：
使所述抗蚀剂组合物通过具备尼龙制膜的过滤器及/或具备氟树脂制膜的过滤器的工序。
4.一种过滤装置，其特征在于，
在抗蚀剂组合物用的流路上具有过滤部(F1)，所述过滤部(F1)具有备有含有聚乙烯制的多孔性膜的中空丝膜的过滤器(f1)，所述抗蚀剂组合物是将通过酸的作用使碱溶性增大的树脂成分(A)和通过曝光而产生酸的酸产生剂成分(B)溶解于有机溶剂(S)中而成。
5.根据权利要求4所述的过滤装置，其中，
所述多孔性膜的孔径为0.01μm以上0.2μm以下。
6.根据权利要求4所述的过滤装置，其中，
在所述流路上，在所述过滤部(F1)的上游侧及/或下游侧，进一步具有过滤部(F2)，所述过滤部(F2)具有备有尼龙制膜的过滤器及/或备有氟树脂制膜的过滤器。
7.一种抗蚀剂组合物的涂敷装置，其搭载有权利要求4-6中的任意一项所述的过滤装置。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京应化工业株式会社，未经东京应化工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310268274.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种原人参二醇衍生物及其应用
- 下一篇：非接触式车轮定位传感器以及方法
