[发明专利]三次元测量装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种三次元测量装置，尤其涉及一种定位精度高的三次元测量装置。

背景技术

三次元测量装置被广泛地应用于精密机械零件、电子元器件、塑料与橡胶成品、及半导体元器件的检测等领域。现有的三次元测量装置包括推动组件、气浮块组件及探针机构，推动组件与气浮块组件推动探针机构沿三维方向移动至工件的表面，以对工件的轮廓、表面形状、尺寸、角度及位置进行精密测试。但，气浮块组件的导向性能与承载能力较差，使得现有的三次元测量装置的定位精度与可重复性较差。

发明内容

鉴于以上缺点，有必要提供一种定位精度高的三次元测量装置。

一种三次元测量装置，包括治具、设置于该治具上的推动组件、及探针机构，该三次元测量装置进一步包括第一丝杠组件、与该第一丝杠组件连接的第二丝杠组件，该第一丝杠组件位于该推动组件上，该探针机构连接于该第二丝杠组件的一端，将一工件放置于该治具上后，该推动组件、该第一丝杠组件及该第二丝杠组件推动该探针机构移动至工件的表面，以对工件进行测试。

一种三次元测量装置，包括治具、设置于该治具上的推动组件及探针机构，该三次元测量装置进一步包括第一丝杠组件、与该第一丝杠组件连接的第二丝杠组件，该第一丝杠组件位于该推动组件上，该探针机构连接于该第二丝杠组件的一端，将一工件放置于该治具上后，该推动组件带动该探针机构沿第一方向移动，该第一丝杠组件带动该探针机构沿第二方向移动，该第二丝杠组件带动该探针机构沿第三方向移动，该推动组件、该第一丝杠组件及该第二丝杠组件相配合推动该探针机构移动至工件的表面，以对工件进行测试。

上述的三次元测量装置的推动组件、第一丝杠组件及第二丝杠组件可将探针机构精确的推动至工件的表面，以对工件进行测试。

附图说明

图1为本发明一较佳实施例三次元测量装置的示意图；

图2为本发明一较佳实施例三次元测量装置未装配治具的示意图；

图3为图2所示三次元测量装置的分解图；

图4为图3所示三次元测量装置的第一丝杠组件、第二丝杠组件及探针机构的分解放大示意图。

主要元件符号说明

三次元测量装置100底座10传送机构30探针机构50治具60工件70推动组件31第一丝杠组件33第二丝杠组件35电机311旋转杆312支撑块313滑动块314连接板315滑轨316滑动件317支撑架318第一基座331第一马达332第一丝杠333第一滑动座335第一轨道337第一连接块339第二基座351第二马达352第二丝杠353第二滑动座355第二轨道357第二连接块358第三连接块359连接部51探针53下治具61上治具63支架611