[发明专利]一种硅片冲洗装置无效
| 申请号： | 201310268431.1 | 申请日： | 2013-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN104249064A | 公开（公告）日： | 2014-12-31 |
| 发明（设计）人： | 周建国;夏利荣 | 申请（专利权）人： | 常州市立威刀具有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 何学成 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 冲洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片冲洗装置，包括清洗槽，其特征在于：还包括储水罐、对储水罐中的水进行输送的输送装置，以及位于清洗槽上方的旋转装置，旋转装置包括支架、固定设置在支架上的驱动电机、固定连接在驱动电机输出轴上的转轴，以及固定连接在转轴下端的旋转平台，所述旋转平台位于清洗槽内，输送装置的输出端位于旋转平台的上方。
2.根据权利要求1所述的一种硅片冲洗装置，其特征在于：所述清洗槽内设置有对清洗槽内的水位进行检测的液位传感器，液位传感器与控制输送装置工作的控制器连接，所述清洗槽的槽壁设有排水管，排水管与清洗槽内相连通，所述排水管上设有电磁阀，所述电磁阀与控制器连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅片冲洗装置，其特征在于：所述输送装置包括进水端与储水罐内部连通的抽水泵，抽水泵的出水端连接有出水管，其出水管的出水端位于旋转平台上方。
4.根据权利要求3所述的一种硅片冲洗装置，其特征在于：所述出水管的出水端连接有喷头。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的一种硅片冲洗装置，其特征在于：所述旋转平台上端面周边设置有挡边。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州市立威刀具有限公司，未经常州市立威刀具有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310268431.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：中频炉冷却水流量计延时断开及报警装置
- 下一篇：一种太阳能发电装置
