[发明专利]一种狭缝喷嘴清洁装置有效
申请号: | 201310269991.9 | 申请日: | 2013-06-28 |
公开(公告)号: | CN103286030A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 陈晖;张志豪;王文华;林祺哲 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | B05B15/02 | 分类号: | B05B15/02 |
代理公司: | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人: | 刘敏 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 狭缝 喷嘴 清洁 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种狭缝喷嘴清洁装置,尤其是用于对液晶平板显示器的光刻胶涂布的狭缝喷嘴的内部进行清洁的狭缝喷嘴清洁装置。
背景技术
在TFT-LCD等平板显示器的制造工艺中的光刻工序中,一般通过狭缝喷嘴进行光刻胶的涂布。在进行涂布时,使具有狭缝形状的喷出口的长条形的狭缝喷嘴相对于玻璃基板等的涂布表面相对移动,在基板上涂覆光刻胶。狭缝喷嘴的喷出口的宽度较小(约百微米级)。在生产过程中,喷出口发生堵塞而影响涂布品质时常发生,导致纵向色不均,涂布不良。以彩色滤光片光阻为例,由于光刻胶中使用颜料分散法分散有颜料分子,因此容易干燥结块,阻塞喷出口,影响涂布品质。
发明内容
本发明的目的在于,提供一种狭缝喷嘴清洁装置,其可以用于狭缝喷嘴的清洁,保证狭缝喷嘴的涂布品质。
本发明通过如下技术方案实现:一种狭缝喷嘴清洁装置,其中,所述狭缝喷嘴清洁装置包括清扫片体及辅助插入部件,所述辅助插入部件用于将所述清扫片体导入所述狭缝喷嘴内。
作为上述技术方案的进一步改进,所述辅助插入部件吸附在所述狭缝喷嘴上。
作为上述技术方案的进一步改进,所述狭缝喷嘴包括左盖板、右盖板、前喷嘴半部、后喷嘴半部、流体入口,所述前喷嘴半部、所述后喷嘴半部由所述左盖板、所述右盖板固定在一起,所述前喷嘴半部、所述后喷嘴半部贴合而形成喷嘴腔体及喷出口,所述流体入口形成于所述前喷嘴半部上。
作为上述技术方案的进一步改进,所述辅助插入部件包括辅助插入段及固定段,所述辅助插入段包括插入段前半部及插入段后半部,所述插入段前半部及所述插入段后半部由所述固定段固定在一起,所述插入段前半部及所述插入段后半部之间形成有引导空间。
作为上述技术方案的进一步改进,所述狭缝喷嘴清洁装置还包括弹性安装架,所述弹性安装架具有用于向上顶推所述辅助插入部件的多个螺旋弹簧。
作为上述技术方案的进一步改进,所述辅助插入段及所述固定段的顶部分布有多个磁铁以便将所述辅助插入部件吸附在所述狭缝喷嘴上。
作为上述技术方案的进一步改进,所述引导空间包括位于上方的上方V型空间、位于下方的下方倒V型空间、位于所述上方V型空间与所述下方倒V型空间之间的间隔恒定空间,所述上方V型空间用于容纳所述狭缝喷嘴的喷出口。
作为上述技术方案的进一步改进,所述喷出口的宽度大于所述间隔恒定空间的宽度,且所述间隔恒定空间的宽度大于所述清扫片体的厚度。
作为上述技术方案的进一步改进,所述狭缝喷嘴清洁装置还包括清扫片体夹具,所述清扫片体夹具用于夹持所述清扫片体。
作为上述技术方案的进一步改进,所述清扫片体夹具包括夹具驱动装置,所述夹具驱动装置用于驱动所述清扫片体夹具沿左右方向移动。
本发明的有益效果是:本发明的狭缝喷嘴清洁装置包括清扫片体及辅助插入部件,所述辅助插入部件用于将所述清扫片体导入所述狭缝喷嘴内,由此,可以利用辅助插入部件将清扫片体导入狭缝喷嘴内,进行狭缝喷嘴的清洁,保证狭缝喷嘴的涂布品质。
附图说明
图1是根据本发明的一个具体实施例的狭缝喷嘴清洁装置的立体透视示意图。
图2是图1中狭缝喷嘴的分解透视示意图。
图3是图1中辅助插入部件的分解透视示意图。
图4是说明图1中辅助插入部件的将清洁片体导入狭缝喷嘴的原理示意图。
图5是图1中辅助插入部件的引导空间的结构示意图。
图6是根据本发明的另一具体实施例的狭缝喷嘴清洁装置的立体透视示意图。
图7是图6中弹性安装架的立体透视示意图。
图8是图6中清扫片体夹具的立体透视示意图。
图9是显示图6中的狭缝喷嘴清洁装置的辅助插入过程中的侧视示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行进一步的说明。
如图1所示,本发明的狭缝喷嘴清洁装置包括清扫片体300及辅助插入部件200,所述辅助插入部件200用于将所述清扫片体300导入所述狭缝喷嘴100内。
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